MSB-serien
Strömförsörjning för medelfrekvent sputtering

MSB-serien förlitar sig på sin utmärkta vågformsmoduleringsteknik för att mata ut DC, DC-puls, dubbelriktad fyrkantvåg, dubbelriktad trapetsvåg och andra vågformer. Produkten har justerbar utgångsvågform, valbar utgångsfrekvens, justerbar arbetscykel och exakt effektreglering. Förutom låg energilagring och snabb bågrespons. Ger bekväm och exakt kontroll för beläggningsprocessen. Produkterna används huvudsakligen i olika tunnfilmstillverkningsprocesser, solcellsindustrin och vakuumbeläggningsindustrin; applikationsprocesser: magnetronsputtring, dubbelmålssputtring och tubulär PECVD.

Viktiga funktioner

● Kombinationen av helt mjuk switchningsteknik och tredje generationens halvledar-SiC som kraftkomponenter resulterar i utmärkt effektivitet
● Höghastighetssensor samlar in VI, FPGA snabb bearbetning, ljusbågsresponstid

● Användning av flera korsande PFC-tekniker, med en effektfaktor större än 0,95
● Val av flera metoder för ljusbågsdetektering, hög tillförlitlighet vid identifiering av ljusbågssläckning

● Utgångslägena är olika, och kontinuerliga och intermittenta lägen kan väljas
● Styrmetod UI.W valbar

De viktigaste parametrarna

Input

Ingångsspänning 3AC400V, 50/60Hz
Effektfaktor ≥0,9
Konverteringseffektivitet 94 %

Produktion

Utgångsspänning 600v, 800V
Utström 50A—75A
Effektnivå 30 kW, 20 kW * 2,25 kW * 2,30 kW * 2
Ingångskanaler 2 kanaler
Frekvens 40 kHz, 40~200 kHz

Prestandaindex

Utströmsrippel 2% rms
Justeringsnoggrannhet ±0,5 %
Bågresponstid
Storlek 4U
Kommunikation
Stöder analog och RS-485-kommunikation (valfritt Profibus, ProfiNet, EtherCAT)

Obs: Produkten fortsätter att förnya sig och prestandan fortsätter att förbättras. Denna parameterbeskrivning är endast för referens.

Mer information

Ladda ner

MSB-seriens datablad för strömförsörjning för mellanfrekvenssputtring
Ladda ner

Tillbaka till Power Solutions Center

MSB-serienStrömförsörjning för medelfrekvent sputtering