RHH-reeks
MSB-reeks mediumfrekwensie-sputterkragtoevoer

Die RHH-reeks RF-kragtoevoer maak staat op volwasse RF-genereringstegnologie om kliënte van 'n RF-kragtoevoer met groter krag, hoër presisie en vinnige reaksie te voorsien. Met fase-instellings, pulsbeheer, digitale afstemming en ander funksies. Toepaslike velde: fotovoltaïese industrie, platskermbedryf, halfgeleierbedryf, chemiese industrie, laboratorium, wetenskaplike navorsing, vervaardiging, ens.

Toepaslike prosesse: plasma-versterkte chemiese dampafsetting (PECVD), plasma-etsing, plasmaskoonmaak, radiofrekwensie-ioonbron, plasmadiffusie, plasmapolimerisasie-sputtering, reaktiewe sputtering, ens.

Belangrike kenmerke

● Halfbaksteen- en rakmonteringsstyle
● Neem volle digitale beheer aan, met gerieflike en ryk bedieningsmenu

● Frekwensie-instelling, puls- en pulssinchronisasiefunksies
● Met CEX fasesinchronisasiefunksie

● Perfekte beskermingsfunksie

Die hoofparameters

Invoer	Insetspanning: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Spesiale spesifikasies kan aangepas word)
Invoer	Invoerfrekwensie: 47~63Hz
Uitset	Uitsetfrekwensie: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
	Stembereik: ±5%
	Uitsetkrag: 1.5~5kW
	Reguleringsbereik van uitsetkrag: 1~100%
	Uitsetimpedansie: 50Ω+j0
	Uitvoerkoppelvlak: tipe N
	Uitvoermodus: deurlopend, puls
	Pulsfrekwensie: 100Hz~100kHz
	Diensiklus: 5~95%
Prestasie-indeks	Kragfaktor: 0.98
	Frekwensie stabiliteit akkuraatheid: ±0.005%
	Doeltreffendheid: 75% (teen gegradeerde uitset)
	Harmoniese:
	Verdwaal:
	Eksterne beheerkoppelvlak: analoog hoeveelheid, kommunikasie en sinchronisasie
	Kommunikasiemodus: Standaard RS485 kommunikasie-koppelvlak; Opsionele Ether CAT, industriële Ethernet, ens.
Let wel: die produk hou aan om te innoveer en die werkverrigting verbeter steeds. Hierdie parameterbeskrywing is slegs vir verwysing.

RHH-reeksMSB-reeks mediumfrekwensie-sputterkragtoevoer

Belangrike kenmerke

Die hoofparameters

RHH-reeks
MSB-reeks mediumfrekwensie-sputterkragtoevoer