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Serie RHH
Alimentatore per sputtering a media frequenza serie MSB

L'alimentatore RF della serie RHH si basa su una tecnologia di generazione RF matura per fornire ai clienti un alimentatore RF con maggiore potenza, maggiore precisione e risposta rapida. È dotato di impostazione di fase, controllo degli impulsi, sintonizzazione digitale e altre funzioni. Campi di applicazione: industria fotovoltaica, industria dei display a schermo piatto, industria dei semiconduttori, industria chimica, laboratori, ricerca scientifica, produzione, ecc.

Processi applicabili: deposizione chimica da vapore potenziata al plasma (PECVD), incisione al plasma, pulizia al plasma, sorgente di ioni a radiofrequenza, diffusione al plasma, sputtering di polimerizzazione al plasma, sputtering reattivo, ecc.

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Caratteristiche principali

  • ● Stili di montaggio a mezzo mattone e rack
  • ● Adotta il controllo digitale completo, con un menu operativo comodo e ricco
  • ● Funzioni di sintonizzazione della frequenza, impulso e sincronizzazione degli impulsi
  • ● Con funzione di sincronizzazione di fase CEX
  • ● Funzione di protezione perfetta

I parametri principali

Ingresso Tensione di ingresso: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (le specifiche speciali possono essere personalizzate)
Frequenza di ingresso: 47~63Hz
Produzione Frequenza di uscita: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Gamma di sintonizzazione: ±5%
Potenza di uscita: 1,5~5kW
Intervallo di regolazione della potenza di uscita: 1~100%
Impedenza di uscita: 50Ω+j0
Interfaccia di uscita: tipo N
Modalità di uscita: continua, a impulsi
Frequenza degli impulsi: 100Hz~100kHz
Ciclo di lavoro: 5~95%
Indice di prestazione Fattore di potenza: 0,98
Precisione della stabilità della frequenza: ±0,005%
Efficienza: 75% (alla potenza nominale)
Armonica: ＜-45dBc
Dispersione: ＜-50dBc
Interfaccia di controllo esterna: quantità analogica, comunicazione e sincronizzazione
Modalità di comunicazione: interfaccia di comunicazione standard RS485; opzionale Ether CAT, Ethernet industriale, ecc.
Nota: il prodotto continua a essere innovativo e le prestazioni continuano a migliorare. La descrizione di questo parametro è solo a scopo di riferimento.