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RHH-Serie
MSB-Serie Mittelfrequenz-Sputter-Netzteil

Die HF-Netzteile der RHH-Serie basieren auf ausgereifter HF-Technologie und bieten Kunden höhere Leistung, Präzision und schnelle Reaktionszeiten. Sie verfügen über Phaseneinstellung, Pulssteuerung, digitale Abstimmung und weitere Funktionen. Anwendungsbereiche: Photovoltaik, Flachbildschirmindustrie, Halbleiterindustrie, chemische Industrie, Labore, Forschung, Fertigung usw.

Anwendbare Verfahren: plasmaverstärkte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), Plasmaätzen, Plasmareinigung, Hochfrequenz-Ionenquelle, Plasmadiffusion, Plasmapolymerisationssputtern, reaktives Sputtern usw.

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Hauptmerkmale

  • ● Halb-Brick- und Rack-Montagevarianten
  • ● Vollständig digitale Steuerung mit komfortablem und umfangreichem Bedienmenü
  • ● Frequenzabstimmung, Impuls- und Impulssynchronisationsfunktionen
  • ● Mit CEX-Phasensynchronisationsfunktion
  • ● Perfekte Schutzfunktion

Die wichtigsten Parameter

Eingang Eingangsspannung: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Sonderausführungen auf Anfrage)
Eingangsfrequenz: 47~63Hz
Ausgabe Ausgangsfrequenz: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Abstimmungsbereich: ±5%
Ausgangsleistung: 1,5~5kW
Regelbereich der Ausgangsleistung: 1~100%
Ausgangsimpedanz: 50Ω+j0
Ausgabeschnittstelle: Typ N
Ausgabemodus: kontinuierlich, gepulst
Pulsfrequenz: 100 Hz bis 100 kHz
Einschaltdauer: 5~95%
Leistungsindex Leistungsfaktor: 0,98
Genauigkeit der Frequenzstabilität: ±0,005 %
Wirkungsgrad: 75 % (bei Nennleistung)
Harmonische: ＜-45dBc
Streulicht: ＜-50dBc
Externe Steuerschnittstelle: analoge Größe, Kommunikation und Synchronisation
Kommunikationsmodus: Standardmäßige RS485-Kommunikationsschnittstelle; optional EtherCAT, industrielles Ethernet usw.
Hinweis: Das Produkt wird kontinuierlich weiterentwickelt und seine Leistung verbessert sich stetig. Diese Parameterbeschreibung dient lediglich als Referenz.