Filipino
English French German Portuguese Spanish Russian Japanese Korean Arabic Irish Greek Turkish Italian Danish Romanian Indonesian Czech Afrikaans Swedish Polish Basque Catalan Esperanto Hindi Lao Albanian Amharic Armenian Azerbaijani Belarusian Bengali Bosnian Bulgarian Cebuano Chichewa Corsican Croatian Dutch Estonian Filipino Finnish Frisian Galician Georgian Gujarati Haitian Hausa Hawaiian Hebrew Hmong Hungarian Icelandic Igbo Javanese Kannada Kazakh Khmer Kurdish Kyrgyz Latin Latvian Lithuanian Luxembou.. Macedonian Malagasy Malay Malayalam Maltese Maori Marathi Mongolian Burmese Nepali Norwegian Pashto Persian Punjabi Serbian Sesotho Sinhala Slovak Slovenian Somali Samoan Scots Gaelic Shona Sindhi Sundanese Swahili Tajik Tamil Telugu Thai Ukrainian Urdu Uzbek Vietnamese Welsh Xhosa Yiddish Yoruba Zulu Kinyarwanda Tatar Oriya Turkmen Uyghur
65964efzot
Inquiry
Form loading...

Seryeng RHH
MSB Series Medium Frequency Sputtering Power Supply

Ang RHH series RF power supply ay umaasa sa mature na teknolohiya sa pagbuo ng RF upang mabigyan ang mga customer ng RF power supply na may mas mataas na lakas, mas mataas na katumpakan, at mabilis na tugon. Maaaring itakda ang phase, kontrolado ang pulse, digital tuning, at iba pang mga function. Mga naaangkop na larangan: industriya ng photovoltaic, industriya ng flat panel display, industriya ng semiconductor, industriya ng kemikal, laboratoryo, siyentipikong pananaliksik, pagmamanupaktura, atbp.

Mga naaangkop na proseso: plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD), plasma etching, paglilinis ng plasma, radio frequency ion source, plasma diffusion, plasma polymerization sputtering, reactive sputtering, atbp.

01

Mga pangunahing tampok

  • ● Mga istilo na kalahating ladrilyo at rack mount
  • ● Gumamit ng ganap na digital na kontrol, na may maginhawa at masaganang menu ng operasyon
  • ● Mga function ng pag-tune ng frequency, pag-synchronize ng pulso at pulso
  • ● May function na pag-synchronize ng phase ng CEX
  • ● Perpektong proteksyon

Ang mga pangunahing parameter

Pagpasok Boltahe ng input: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Maaaring ipasadya ang mga espesyal na detalye)
Dalas ng pag-input: 47~63Hz
Output Dalas ng output: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
Saklaw ng pag-tune: ±5%
Lakas ng output: 1.5~5kW
Saklaw ng regulasyon ng output power: 1~100%
Impedans ng output: 50Ω+j0
Interface ng output: uri N
Output mode: tuloy-tuloy, pulso
Dalas ng pulso: 100Hz~100kHz
Siklo ng tungkulin: 5~95%
Indeks ng pagganap Kadahilanan ng lakas: 0.98
Katumpakan ng katatagan ng dalas: ±0.005%
Kahusayan: 75% (sa na-rate na output)
Harmoniko: ＜-45dBc
Ligaw: ＜-50dBc
Panlabas na interface ng kontrol: dami ng analog, komunikasyon at pag-synchronize
Paraan ng komunikasyon: Karaniwang RS485 na interface ng komunikasyon; Opsyonal na Ether CAT, industrial Ethernet, atbp.
Paalala: patuloy na nagbabago ang produkto at patuloy na bumubuti ang pagganap. Ang paglalarawan ng parameter na ito ay para sa sanggunian lamang.