Catalan
English French German Portuguese Spanish Russian Japanese Korean Arabic Irish Greek Turkish Italian Danish Romanian Indonesian Czech Afrikaans Swedish Polish Basque Catalan Esperanto Hindi Lao Albanian Amharic Armenian Azerbaijani Belarusian Bengali Bosnian Bulgarian Cebuano Chichewa Corsican Croatian Dutch Estonian Filipino Finnish Frisian Galician Georgian Gujarati Haitian Hausa Hawaiian Hebrew Hmong Hungarian Icelandic Igbo Javanese Kannada Kazakh Khmer Kurdish Kyrgyz Latin Latvian Lithuanian Luxembou.. Macedonian Malagasy Malay Malayalam Maltese Maori Marathi Mongolian Burmese Nepali Norwegian Pashto Persian Punjabi Serbian Sesotho Sinhala Slovak Slovenian Somali Samoan Scots Gaelic Shona Sindhi Sundanese Swahili Tajik Tamil Telugu Thai Ukrainian Urdu Uzbek Vietnamese Welsh Xhosa Yiddish Yoruba Zulu Kinyarwanda Tatar Oriya Turkmen Uyghur
65964efzot
Inquiry
Form loading...

Sèrie RHH
Font d'alimentació per pulverització catòdica de freqüència mitjana de la sèrie MSB

La font d'alimentació de RF de la sèrie RHH es basa en una tecnologia de generació de RF madura per proporcionar als clients una font d'alimentació de RF amb més potència, més precisió i resposta ràpida. Amb la possibilitat de configurar la fase, controlar els polsos, ajustar digitalment i altres funcions. Camps aplicables: indústria fotovoltaica, indústria de pantalles planes, indústria de semiconductors, indústria química, laboratori, recerca científica, fabricació, etc.

Processos aplicables: deposició química de vapor millorada per plasma (PECVD), gravat per plasma, neteja per plasma, font d'ions de radiofreqüència, difusió de plasma, polvorització per polimerització per plasma, polvorització reactiva, etc.

01

Característiques clau

  • ● Estils de muntatge de mig maó i en rack
  • ● Adopta un control digital complet, amb un menú d'operació convenient i ric
  • ● Funcions d'afinació de freqüència, polsos i sincronització d'impulsos
  • ● Amb funció de sincronització de fase CEX
  • ● Funció de protecció perfecta

Els paràmetres principals

Entrada Voltatge d'entrada: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (es poden personalitzar les especificacions especials)
Freqüència d'entrada: 47~63Hz
Sortida Freqüència de sortida: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Rang d'afinació: ±5%
Potència de sortida: 1,5~5 kW
Rang de regulació de la potència de sortida: 1~100%
Impedància de sortida: 50Ω+j0
Interfície de sortida: tipus N
Mode de sortida: continu, pols
Freqüència de pols: 100Hz ~ 100kHz
Cicle de treball: 5~95%
Índex de rendiment Factor de potència: 0,98
Precisió d'estabilitat de freqüència: ±0,005%
Eficiència: 75% (a la potència nominal)
Harmònic:
Perdició:
Interfície de control externa: quantitat analògica, comunicació i sincronització
Mode de comunicació: Interfície de comunicació RS485 estàndard; Ether CAT opcional, Ethernet industrial, etc.
Nota: el producte continua innovant i el rendiment continua millorant. Aquesta descripció de paràmetres és només de referència.