Серия RHH
Захранване за средночестотно разпрашване от серия MSB

Серията RHH RF захранвания разчита на усъвършенствана технология за генериране на RF, за да осигури на клиентите RF захранване с по-голяма мощност, по-висока прецизност и бърза реакция. С фазово настройване, импулсно управление, цифрова настройка и други функции. Приложими области: фотоволтаична индустрия, индустрия за плоски дисплеи, полупроводникова индустрия, химическа промишленост, лаборатории, научни изследвания, производство и др.

Приложими процеси: плазмено усилено химическо отлагане от пари (PECVD), плазмено ецване, плазмено почистване, радиочестотен йонен източник, плазмена дифузия, плазмено полимеризационно разпрашване, реактивно разпрашване и др.