Inquiry
Form loading...

RHH sērija
MSB sērijas vidējas frekvences izsmidzināšanas barošanas avots

RHH sērijas RF barošanas bloks izmanto nobriedušu RF ģenerēšanas tehnoloģiju, lai nodrošinātu klientus ar RF barošanas bloku ar lielāku jaudu, augstāku precizitāti un ātru reaģēšanas ātrumu. Ar fāzes iestatīšanu, impulsu vadību, digitālo regulēšanu un citām funkcijām. Pielietojamās jomas: fotoelektriskā rūpniecība, plakano paneļu displeju rūpniecība, pusvadītāju rūpniecība, ķīmiskā rūpniecība, laboratorijas, zinātniskā pētniecība, ražošana utt.

Pielietojamie procesi: plazmas pastiprināta ķīmiskā tvaiku uzklāšana (PECVD), plazmas kodināšana, plazmas tīrīšana, radiofrekvences jonu avots, plazmas difūzija, plazmas polimerizācijas izsmidzināšana, reaktīvā izsmidzināšana utt.

01

Galvenās iezīmes

  • ● Pusķieģeļu un plauktu montāžas stili
  • ● Pieņemt pilnīgu digitālo vadību ar ērtu un bagātīgu darbības izvēlni
  • ● Frekvences regulēšanas, impulsa un impulsa sinhronizācijas funkcijas
  • ● Ar CEX fāzes sinhronizācijas funkciju
  • ● Perfekta aizsardzības funkcija

Galvenie parametri

Ievade Ieejas spriegums: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (var pielāgot īpašas specifikācijas)
Ieejas frekvence: 47~63Hz
Izvade Izejas frekvence: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Skaņošanas diapazons: ±5%
Izejas jauda: 1,5~5 kW
Izejas jaudas regulēšanas diapazons: 1~100%
Izejas pretestība: 50Ω+j0
Izejas saskarne: N tips
Izejas režīms: nepārtraukts, impulss
Impulsa frekvence: 100 Hz ~ 100 kHz
Darba cikls: 5~95%
Veiktspējas indekss Jaudas koeficients: 0,98
Frekvences stabilitātes precizitāte: ±0,005%
Efektivitāte: 75% (pie nominālās jaudas)
Harmonisks:
Klaiņojošs:
Ārējā vadības saskarne: analogais daudzums, komunikācija un sinhronizācija
Komunikācijas režīms: standarta RS485 komunikācijas saskarne; pēc izvēles Ether CAT, rūpnieciskais Ethernet utt.
Piezīme: produkts turpina tikt ieviests jauninājumos un tā veiktspēja turpina uzlaboties. Šis parametru apraksts ir paredzēts tikai uzziņai.