Romanian
English French German Portuguese Spanish Russian Japanese Korean Arabic Irish Greek Turkish Italian Danish Romanian Indonesian Czech Afrikaans Swedish Polish Basque Catalan Esperanto Hindi Lao Albanian Amharic Armenian Azerbaijani Belarusian Bengali Bosnian Bulgarian Cebuano Chichewa Corsican Croatian Dutch Estonian Filipino Finnish Frisian Galician Georgian Gujarati Haitian Hausa Hawaiian Hebrew Hmong Hungarian Icelandic Igbo Javanese Kannada Kazakh Khmer Kurdish Kyrgyz Latin Latvian Lithuanian Luxembou.. Macedonian Malagasy Malay Malayalam Maltese Maori Marathi Mongolian Burmese Nepali Norwegian Pashto Persian Punjabi Serbian Sesotho Sinhala Slovak Slovenian Somali Samoan Scots Gaelic Shona Sindhi Sundanese Swahili Tajik Tamil Telugu Thai Ukrainian Urdu Uzbek Vietnamese Welsh Xhosa Yiddish Yoruba Zulu Kinyarwanda Tatar Oriya Turkmen Uyghur
65964efzot
Inquiry
Form loading...

Seria RHH
Sursă de alimentare pentru pulverizare cu frecvență medie seria MSB

Sursa de alimentare RF din seria RHH se bazează pe o tehnologie matură de generare RF pentru a oferi clienților o sursă de alimentare RF cu putere mai mare, precizie sporită și răspuns rapid. Cu funcție de setare a fazei, control prin impulsuri, reglare digitală și alte funcții. Domenii aplicabile: industria fotovoltaică, industria afișajelor cu ecran plat, industria semiconductorilor, industria chimică, laborator, cercetare științifică, producție etc.

Procese aplicabile: depunere chimică în fază de vapori asistată de plasmă (PECVD), gravare cu plasmă, curățare cu plasmă, sursă de ioni de radiofrecvență, difuzie cu plasmă, pulverizare cu polimerizare cu plasmă, pulverizare reactivă etc.

01

Caracteristici cheie

  • ● Modele de montare pe jumătate de cărămidă și rack
  • ● Adoptă control complet digital, cu un meniu de operare convenabil și bogat
  • ● Funcții de reglare a frecvenței, impulsuri și sincronizare a impulsurilor
  • ● Cu funcție de sincronizare a fazelor CEX
  • ● Funcție de protecție perfectă

Parametrii principali

Intrare Tensiune de intrare: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Specificațiile speciale pot fi personalizate)
Frecvență de intrare: 47~63Hz
Ieșire Frecvență de ieșire: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Interval de reglare: ±5%
Putere de ieșire: 1,5~5 kW
Interval de reglare a puterii de ieșire: 1~100%
Impedanță de ieșire: 50Ω+j0
Interfață de ieșire: tip N
Mod de ieșire: continuu, impuls
Frecvența impulsurilor: 100Hz~100kHz
Ciclu de funcționare: 5~95%
Indicele de performanță Factor de putere: 0,98
Precizie a stabilității frecvenței: ±0,005%
Eficiență: 75% (la puterea nominală)
Armonică:
Parazit:
Interfață de control externă: mărime analogică, comunicare și sincronizare
Mod de comunicare: Interfață standard de comunicare RS485; Opțional Ether CAT, Ethernet industrial etc.
Notă: produsul continuă să se inoveze, iar performanța continuă să se îmbunătățească. Această descriere a parametrilor este doar cu titlu de referință.