RHH serisi
MSB Serisi Orta Frekanslı Püskürtmeli Güç Kaynağı

RHH serisi RF güç kaynağı, olgun RF üretim teknolojisine dayanarak müşterilerine daha yüksek güç, daha yüksek hassasiyet ve hızlı tepki süresine sahip RF güç kaynağı sunar. Faz ayarı, darbe kontrolü, dijital ayarlama ve diğer fonksiyonlara sahiptir. Uygulama alanları: fotovoltaik endüstrisi, düz panel ekran endüstrisi, yarı iletken endüstrisi, kimya endüstrisi, laboratuvar, bilimsel araştırma, üretim vb.

Uygulanabilir işlemler: plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD), plazma aşındırma, plazma temizleme, radyo frekanslı iyon kaynağı, plazma difüzyonu, plazma polimerizasyon püskürtme, reaktif püskürtme, vb.

Başlıca özellikler

● Yarım tuğla ve raf tipi montaj stilleri
● Tamamen dijital kontrol sistemi ve kullanışlı, zengin işlem menüsü.

● Frekans ayarlama, darbe ve darbe senkronizasyon fonksiyonları
● CEX faz senkronizasyon fonksiyonu ile

● Mükemmel koruma fonksiyonu

Ana parametreler

Giriş	Giriş voltajı: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Özel özellikler isteğe göre uyarlanabilir)
Giriş	Giriş frekansı: 47~63Hz
Çıktı	Çıkış frekansı: 13,56MHz, 27,12MHz, 40,68MHz
	Ayar aralığı: ±%5
	Çıkış gücü: 1,5~5kW
	Çıkış gücü ayar aralığı: %1~100
	Çıkış empedansı: 50Ω+j0
	Çıkış arayüzü: tip N
	Çıkış modu: sürekli, darbeli
	Darbe frekansı: 100Hz~100kHz
	Çalışma döngüsü: %5~95
Performans endeksi	Güç faktörü: 0,98
	Frekans kararlılığı doğruluğu: ±0,005%
	Verimlilik: %75 (nominal çıkış gücünde)
	Harmonik: ＜-45dBc
	Kaçak sinyal: ＜-50dBc
	Harici kontrol arayüzü: analog miktar, iletişim ve senkronizasyon
	İletişim modu: Standart RS485 iletişim arayüzü; İsteğe bağlı Ether CAT, endüstriyel Ethernet vb.
Not: Ürün sürekli olarak yenilenmekte ve performansı sürekli olarak iyileştirilmektedir. Bu parametre açıklaması yalnızca referans amaçlıdır.

RHH serisiMSB Serisi Orta Frekanslı Püskürtmeli Güç Kaynağı

Başlıca özellikler

Ana parametreler

RHH serisi
MSB Serisi Orta Frekanslı Püskürtmeli Güç Kaynağı