Inquiry
Form loading...

RHH-seeria
MSB seeria keskmise sagedusega pihustustoiteallikas

RHH seeria raadiosageduslik toiteplokk tugineb küpsele raadiosagedusliku genereerimise tehnoloogiale, et pakkuda klientidele suurema võimsuse, täpsuse ja kiire reageerimisajaga raadiosageduslikku toiteplokki. Faasi seadistamise, impulssjuhtimise, digitaalse häälestamise ja muude funktsioonidega. Kasutusalad: fotogalvaanika tööstus, lameekraaniga tööstus, pooljuhtide tööstus, keemiatööstus, laborid, teadusuuringud, tootmine jne.

Rakendatavad protsessid: plasma abil tugevdatud keemiline aurustamine-sadestamine (PECVD), plasma söövitamine, plasma puhastamine, raadiosageduslik ioonallikas, plasma difusioon, plasma polümerisatsiooni pihustamine, reaktiivne pihustamine jne.

01

Peamised omadused

  • ● Pooltelliskivi ja riiulile kinnitatavad mudelid
  • ● Võtke vastu täielik digitaalne juhtimine mugava ja rikkaliku töömenüüga
  • ● Sageduse häälestamine, impulss ja impulsside sünkroniseerimise funktsioonid
  • ● CEX faasi sünkroniseerimise funktsiooniga
  • ● Täiuslik kaitsefunktsioon

Peamised parameetrid

Sisend Sisendpinge: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (spetsiifilisi spetsifikatsioone saab kohandada)
Sisendsagedus: 47~63Hz
Väljund Väljundsagedus: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Häälestusvahemik: ±5%
Väljundvõimsus: 1,5–5 kW
Väljundvõimsuse reguleerimisvahemik: 1–100%
Väljundtakistus: 50Ω+j0
Väljundliides: tüüp N
Väljundrežiim: pidev, impulss
Impulsi sagedus: 100Hz~100kHz
Töötsükkel: 5–95%
Toimivusindeks Võimsustegur: 0,98
Sageduse stabiilsuse täpsus: ±0,005%
Kasutegur: 75% (nimivõimsusel)
Harmooniline:
Hulkuv:
Väline juhtimisliides: analoogkogus, side ja sünkroniseerimine
Siderežiim: standardne RS485 sideliides; valikuline Ether CAT, tööstuslik Ethernet jne.
Märkus: toodet täiustatakse pidevalt ja selle jõudlus paraneb pidevalt. See parameetri kirjeldus on ainult viitamiseks.