RHH-serien
MSB-serien mellemfrekvens sputtering strømforsyning

RHH-seriens RF-strømforsyninger er baseret på moden RF-genereringsteknologi for at give kunderne en RF-strømforsyning med større effekt, højere præcision og hurtig respons. Med faseindstilling, pulsstyring, digital tuning og andre funktioner. Anvendelsesområder: solcelleindustri, fladskærmsindustri, halvlederindustri, kemisk industri, laboratorium, videnskabelig forskning, fremstilling osv.

Anvendelige processer: plasmaforstærket kemisk dampaflejring (PECVD), plasmaætsning, plasmarensning, radiofrekvensionkilde, plasmadiffusion, plasmapolymerisationssputtering, reaktiv sputtering osv.

Nøglefunktioner

● Halvblok- og rackmonteringsmodeller
● Anvend fuld digital kontrol med en praktisk og omfattende betjeningsmenu

● Frekvenstuning, puls- og pulssynkroniseringsfunktioner
● Med CEX fasesynkroniseringsfunktion

● Perfekt beskyttelsesfunktion

De vigtigste parametre

Input	Indgangsspænding: AC220V ± 10% 3ΦAC380V ± 5% (Specielle specifikationer kan tilpasses)
Input	Indgangsfrekvens: 47~63Hz
Produktion	Udgangsfrekvens: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Indstillingsområde: ±5%
	Udgangseffekt: 1,5~5 kW
	Reguleringsområde for udgangseffekt: 1~100%
	Udgangsimpedans: 50Ω+j0
	Udgangsgrænseflade: type N
	Udgangstilstand: kontinuerlig, puls
	Pulsfrekvens: 100Hz~100kHz
	Driftscyklus: 5~95%
Ydelsesindeks	Effektfaktor: 0,98
	Frekvensstabilitetsnøjagtighed: ±0,005%
	Effektivitet: 75% (ved nominel effekt)
	Harmonisk:
	Svaghed:
	Ekstern kontrolgrænseflade: analog mængde, kommunikation og synkronisering
	Kommunikationstilstand: Standard RS485 kommunikationsgrænseflade; Valgfri Ether CAT, industrielt Ethernet osv.
Bemærk: Produktet fortsætter med at innovere, og ydeevnen forbedres løbende. Denne parameterbeskrivelse er kun til reference.

RHH-serienMSB-serien mellemfrekvens sputtering strømforsyning

Nøglefunktioner

De vigtigste parametre

RHH-serien
MSB-serien mellemfrekvens sputtering strømforsyning