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Série RHH
Alimentation pour pulvérisation cathodique moyenne fréquence série MSB

L'alimentation RF de la série RHH s'appuie sur une technologie de génération RF éprouvée pour offrir aux clients une alimentation RF plus puissante, plus précise et plus rapide. Elle dispose de fonctions de réglage de phase, de contrôle d'impulsions, d'accord numérique et autres. Domaines d'application : industrie photovoltaïque, industrie des écrans plats, industrie des semi-conducteurs, industrie chimique, laboratoires, recherche scientifique, production industrielle, etc.

Procédés applicables : dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD), gravure plasma, nettoyage plasma, source d’ions radiofréquence, diffusion plasma, pulvérisation cathodique par polymérisation plasma, pulvérisation cathodique réactive, etc.

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Caractéristiques principales

  • ● Modèles demi-brique et montage en rack
  • ● Adoptez une commande entièrement numérique, avec un menu d'utilisation pratique et complet
  • ● Fonctions de réglage de fréquence, d'impulsion et de synchronisation d'impulsion
  • ● Avec fonction de synchronisation de phase CEX
  • ● Fonction de protection parfaite

Les principaux paramètres

Saisir Tension d'entrée : AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Des spécifications spéciales peuvent être personnalisées)
Fréquence d'entrée : 47~63 Hz
Sortir Fréquence de sortie : 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Plage de réglage : ±5%
Puissance de sortie : 1,5 à 5 kW
Plage de régulation de la puissance de sortie : 1 à 100 %
Impédance de sortie : 50 Ω + j0
Interface de sortie : type N
Mode de sortie : continu, impulsionnel
Fréquence d'impulsion : 100 Hz à 100 kHz
Cycle de service : 5 à 95 %
Indice de performance Facteur de puissance : 0,98
Précision de la stabilité de fréquence : ±0,005 %
Rendement : 75 % (à la puissance nominale)
Harmonique :
Flux parasite :
Interface de commande externe : grandeur analogique, communication et synchronisation
Mode de communication : Interface de communication standard RS485 ; Ether CAT, Ethernet industriel, etc. en option.
Remarque : ce produit continue d’innover et ses performances de s’améliorer. Cette description des paramètres est donnée à titre indicatif uniquement.