Inquiry
Form loading...

Seria RHH
Zasilacz do rozpylania średnioczęstotliwościowego serii MSB

Zasilacze RF serii RHH wykorzystują zaawansowaną technologię generowania sygnału RF, aby zapewnić klientom zasilanie o większej mocy, wyższej precyzji i szybkiej reakcji. Z możliwością regulacji fazy, sterowaniem impulsowym, cyfrowym strojeniem i innymi funkcjami. Zastosowanie: przemysł fotowoltaiczny, przemysł wyświetlaczy płaskich, przemysł półprzewodników, przemysł chemiczny, laboratoria, badania naukowe, produkcja itp.

Zastosowane procesy: osadzanie chemiczne z fazy gazowej wspomagane plazmą (PECVD), trawienie plazmowe, czyszczenie plazmowe, źródła jonów o częstotliwości radiowej, dyfuzja plazmowa, rozpylanie polimeryzacyjne plazmowe, rozpylanie reaktywne itp.

01

Główne cechy

  • ● Style półceglane i do montażu w szafie
  • ● W pełni cyfrowe sterowanie z wygodnym i bogatym menu obsługi
  • ● Funkcje strojenia częstotliwości, impulsów i synchronizacji impulsów
  • ● Z funkcją synchronizacji faz CEX
  • ● Doskonała funkcja ochrony

Główne parametry

Wejście Napięcie wejściowe: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (możliwość dostosowania specyfikacji specjalnych)
Częstotliwość wejściowa: 47~63 Hz
Wyjście Częstotliwość wyjściowa: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Zakres strojenia: ±5%
Moc wyjściowa: 1,5~5 kW
Zakres regulacji mocy wyjściowej: 1~100%
Impedancja wyjściowa: 50Ω+j0
Interfejs wyjściowy: typ N
Tryb wyjścia: ciągły, impulsowy
Częstotliwość impulsów: 100Hz~100kHz
Współczynnik wypełnienia: 5~95%
Wskaźnik wydajności Współczynnik mocy: 0,98
Dokładność stabilności częstotliwości: ±0,005%
Sprawność: 75% (przy mocy znamionowej)
Harmoniczne: <-45dBc
Błądzący: <-50dBc
Zewnętrzny interfejs sterujący: ilość analogowa, komunikacja i synchronizacja
Tryb komunikacji: standardowy interfejs komunikacyjny RS485; opcjonalnie Ether CAT, przemysłowy Ethernet itp.
Uwaga: produkt jest stale udoskonalany, a jego wydajność stale rośnie. Ten opis parametrów ma charakter wyłącznie poglądowy.