Inquiry
Form loading...

Seria RHH
Furnizim me energji me spërkatje me frekuencë të mesme të serisë MSB

Furnizimi me energji RF i serisë RHH mbështetet në teknologjinë e përparuar të gjenerimit RF për t'u ofruar klientëve furnizim me energji RF me fuqi më të madhe, saktësi më të lartë dhe përgjigje të shpejtë. Me fazë të konfigurueshme, kontroll të pulseve, akordim dixhital dhe funksione të tjera. Fushat e zbatueshme: industria fotovoltaike, industria e ekraneve me panele të sheshta, industria e gjysmëpërçuesve, industria kimike, laboratori, kërkimi shkencor, prodhimi, etj.

Proceset e zbatueshme: depozitimi kimik i avullit i përforcuar me plazmë (PECVD), gdhendje me plazmë, pastrim plazme, burim jonesh me frekuencë radioje, difuzion plazme, spërkatje me polimerizim plazme, spërkatje reaktive, etj.

01

Karakteristikat kryesore

  • ● Stile me gjysmë-tulla dhe montim në raft
  • ● Përdorni kontroll të plotë dixhital, me një menu funksionimi të përshtatshme dhe të pasur
  • ● Funksione akordimi të frekuencës, pulsimit dhe sinkronizimit të pulsimit
  • ● Me funksionin e sinkronizimit të fazës CEX
  • ● Funksion mbrojtës perfekt

Parametrat kryesorë

Hyrje Tensioni i hyrjes: AC220V ± 10% 3ΦAC380V ± 5% (Specifikimet speciale mund të personalizohen)
Frekuenca e hyrjes: 47~63Hz
Prodhimi Frekuenca e daljes: 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
Diapazoni i akordimit: ±5%
Fuqia dalëse: 1.5~5kW
Diapazoni i rregullimit të fuqisë së daljes: 1~100%
Impedanca e daljes: 50Ω+j0
Ndërfaqja e daljes: tipi N
Modaliteti i daljes: i vazhdueshëm, pulsues
Frekuenca e pulsit: 100Hz~100kHz
Cikli i punës: 5~95%
Indeksi i performancës Faktori i fuqisë: 0.98
Saktësia e stabilitetit të frekuencës: ±0.005%
Efikasiteti: 75% (në dalje të vlerësuar)
Harmonik:
Zhurmë e humbur:
Ndërfaqja e kontrollit të jashtëm: sasia analoge, komunikimi dhe sinkronizimi
Mënyra e komunikimit: Ndërfaqe standarde komunikimi RS485; Ether CAT opsionale, Ethernet industrial, etj.
Shënim: produkti vazhdon të sjellë risi dhe performanca vazhdon të përmirësohet. Ky përshkrim i parametrave është vetëm për referencë.