Inquiry
Form loading...

ซีรี่ส์ RHH
แหล่งจ่ายไฟแบบสปัตเตอร์ความถี่ปานกลาง MSB ซีรีส์

แหล่งจ่ายไฟ RF ซีรีส์ RHH อาศัยเทคโนโลยีการสร้างสัญญาณ RF ที่พัฒนาแล้ว เพื่อมอบแหล่งจ่ายไฟ RF ที่มีกำลังสูงกว่า ความแม่นยำสูงกว่า และตอบสนองรวดเร็ว พร้อมฟังก์ชั่นการตั้งค่าเฟส การควบคุมพัลส์ การปรับจูนแบบดิจิทัล และฟังก์ชั่นอื่นๆ เหมาะสำหรับอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น อุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์ อุตสาหกรรมจอแสดงผลแบบแบน อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ อุตสาหกรรมเคมี ห้องปฏิบัติการ การวิจัยทางวิทยาศาสตร์ การผลิต ฯลฯ

กระบวนการที่เกี่ยวข้อง: การตกตะกอนไอสารเคมีแบบเสริมด้วยพลาสมา (PECVD), การกัดด้วยพลาสมา, การทำความสะอาดด้วยพลาสมา, แหล่งกำเนิดไอออนความถี่วิทยุ, การแพร่กระจายของพลาสมา, การสปัตเตอร์พอลิเมอไรเซชันด้วยพลาสมา, การสปัตเตอร์แบบปฏิกิริยา ฯลฯ

01

คุณสมบัติหลัก

  • ● รูปแบบครึ่งบล็อกและแบบติดตั้งในแร็ค
  • ● ใช้ระบบควบคุมดิจิทัลเต็มรูปแบบ พร้อมเมนูการใช้งานที่สะดวกและครบครัน
  • ● ฟังก์ชันการปรับความถี่ พัลส์ และการซิงโครไนซ์พัลส์
  • ● พร้อมฟังก์ชันการซิงโครไนซ์เฟส CEX
  • ● ฟังก์ชั่นการป้องกันที่สมบูรณ์แบบ

พารามิเตอร์หลัก

ป้อนข้อมูล แรงดันไฟฟ้าขาเข้า: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (สามารถปรับแต่งข้อกำหนดพิเศษได้)
ความถี่อินพุต: 47~63 เฮิรตซ์
เอาต์พุต ความถี่เอาต์พุต: 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
ช่วงการปรับจูน: ±5%
กำลังขับ: 1.5~5 กิโลวัตต์
ช่วงการปรับกำลังไฟฟ้าขาออก: 1~100%
อิมพีแดนซ์เอาต์พุต: 50Ω+j0
อินเทอร์เฟซเอาต์พุต: ประเภท N
โหมดเอาต์พุต: ต่อเนื่อง, พัลส์
ความถี่พัลส์: 100Hz~100kHz
อัตราการทำงาน: 5~95%
ดัชนีประสิทธิภาพ ค่าตัวประกอบกำลัง: 0.98
ความแม่นยำของความเสถียรของความถี่: ±0.005%
ประสิทธิภาพ: 75% (ที่กำลังส่งออกตามกำหนด)
ฮาร์โมนิก: <-45dBc
สัญญาณรบกวน: <-50dBc
อินเทอร์เฟซควบคุมภายนอก: ปริมาณอนาล็อก การสื่อสาร และการซิงโครไนซ์
โหมดการสื่อสาร: อินเทอร์เฟซการสื่อสาร RS485 มาตรฐาน; ตัวเลือกเพิ่มเติม: Ether CAT, อีเธอร์เน็ตอุตสาหกรรม ฯลฯ
หมายเหตุ: ผลิตภัณฑ์มีการพัฒนาอย่างต่อเนื่องและประสิทธิภาพก็ดีขึ้นเรื่อยๆ คำอธิบายพารามิเตอร์นี้ใช้สำหรับการอ้างอิงเท่านั้น