Inquiry
Form loading...

Серыя RHH
Блок харчавання сярэдняй частаты для распылення серыі MSB

Радыячастотныя крыніцы сілкавання серыі RHH абапіраюцца на развітую тэхналогію генерацыі радыёчастотных выпраменьванняў, каб забяспечыць кліентам радыёчастотныя крыніцы сілкавання з большай магутнасцю, больш высокай дакладнасцю і хуткасцю водгуку. З магчымасцю ўсталёўкі фазы, імпульснага кіравання, лічбавай налады і іншымі функцыямі. Прымяняюцца ў наступных галінах: фотаэлектрычная прамысловасць, вытворчасць плоскіх дысплеяў, паўправадніковая прамысловасць, хімічная прамысловасць, лабараторыі, навуковыя даследаванні, вытворчасць і г.д.

Прыдатныя працэсы: плазменна-хімічнае асаджэнне з паравой фазы (PECVD), плазменнае травленне, плазменная ачыстка, радыёчастотная крыніца іонаў, плазменная дыфузія, плазменнае палімерызацыйнае распыленне, рэактыўнае распыленне і г.д.

01

Асноўныя характарыстыкі

  • ● Маштабныя корпусы ў паўцэглы і ў стойку
  • ● Прыняць цалкам лічбавае кіраванне з зручным і багатым меню кіравання
  • ● Функцыі налады частаты, імпульсу і сінхранізацыі імпульсаў
  • ● З функцыяй сінхранізацыі фаз CEX
  • ● Ідэальная функцыя абароны

Асноўныя параметры

Увод Уваходнае напружанне: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (спецыяльныя характарыстыкі могуць быць настроены)
Уваходная частата: 47~63 Гц
Выхад Выхадная частата: 13,56 МГц, 27,12 МГц, 40,68 МГц
Дыяпазон налады: ±5%
Выхадная магутнасць: 1,5~5 кВт
Дыяпазон рэгулявання выходнай магутнасці: 1~100%
Выхадны імпеданс: 50Ω+j0
Выхадны інтэрфейс: тып N
Рэжым вываду: бесперапынны, імпульсны
Частата імпульсаў: 100 Гц ~ 100 кГц
Каэфіцыент нагрузкі: 5~95%
Індэкс прадукцыйнасці Каэфіцыент магутнасці: 0,98
Дакладнасць стабільнасці частаты: ±0,005%
ККД: 75% (пры намінальнай магутнасці)
Гармоніка:
Разсеяныя шумы:
Знешні інтэрфейс кіравання: аналагавая велічыня, сувязь і сінхранізацыя
Рэжым сувязі: стандартны інтэрфейс сувязі RS485; дадатковы Ether CAT, прамысловы Ethernet і г.д.
Заўвага: прадукт працягвае ўдасканальвацца, а яго прадукцыйнасць працягвае паляпшацца. Гэта апісанне параметраў прыведзена толькі для даведкі.