Indonesian
English French German Portuguese Spanish Russian Japanese Korean Arabic Irish Greek Turkish Italian Danish Romanian Indonesian Czech Afrikaans Swedish Polish Basque Catalan Esperanto Hindi Lao Albanian Amharic Armenian Azerbaijani Belarusian Bengali Bosnian Bulgarian Cebuano Chichewa Corsican Croatian Dutch Estonian Filipino Finnish Frisian Galician Georgian Gujarati Haitian Hausa Hawaiian Hebrew Hmong Hungarian Icelandic Igbo Javanese Kannada Kazakh Khmer Kurdish Kyrgyz Latin Latvian Lithuanian Luxembou.. Macedonian Malagasy Malay Malayalam Maltese Maori Marathi Mongolian Burmese Nepali Norwegian Pashto Persian Punjabi Serbian Sesotho Sinhala Slovak Slovenian Somali Samoan Scots Gaelic Shona Sindhi Sundanese Swahili Tajik Tamil Telugu Thai Ukrainian Urdu Uzbek Vietnamese Welsh Xhosa Yiddish Yoruba Zulu Kinyarwanda Tatar Oriya Turkmen Uyghur
65964efzot
Inquiry
Form loading...

Seri RHH
Catu Daya Sputtering Frekuensi Menengah Seri MSB

Catu daya RF seri RHH mengandalkan teknologi pembangkitan RF yang matang untuk menyediakan catu daya RF dengan daya lebih besar, presisi lebih tinggi, dan respons cepat kepada pelanggan. Dilengkapi dengan pengaturan fase, kontrol pulsa, penyetelan digital, dan fungsi lainnya. Bidang aplikasi: industri fotovoltaik, industri layar panel datar, industri semikonduktor, industri kimia, laboratorium, penelitian ilmiah, manufaktur, dll.

Proses yang dapat diaplikasikan: pengendapan uap kimia yang ditingkatkan plasma (PECVD), etsa plasma, pembersihan plasma, sumber ion frekuensi radio, difusi plasma, sputtering polimerisasi plasma, sputtering reaktif, dll.

01

Fitur utama

  • ● Model setengah bata dan pemasangan rak
  • ● Meng采用 kontrol digital sepenuhnya, dengan menu pengoperasian yang nyaman dan lengkap
  • ● Fungsi penyetelan frekuensi, pulsa, dan sinkronisasi pulsa
  • ● Dengan fungsi sinkronisasi fase CEX
  • ● Fungsi perlindungan yang sempurna

Parameter utama

Masukan Tegangan input: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Spesifikasi khusus dapat disesuaikan)
Frekuensi input: 47~63Hz
Keluaran Frekuensi keluaran: 13,56MHz, 27,12MHz, 40,68MHz
Rentang penyetelan: ±5%
Daya keluaran: 1,5~5kW
Rentang pengaturan daya keluaran: 1~100%
Impedansi keluaran: 50Ω+j0
Antarmuka keluaran: tipe N
Mode keluaran: kontinu, pulsa
Frekuensi pulsa: 100Hz~100kHz
Siklus kerja: 5~95%
Indeks kinerja Faktor daya: 0,98
Akurasi stabilitas frekuensi: ±0,005%
Efisiensi: 75% (pada daya keluaran nominal)
Harmonik: ＜-45dBc
Stray: ＜-50dBc
Antarmuka kontrol eksternal: kuantitas analog, komunikasi, dan sinkronisasi
Mode komunikasi: Antarmuka komunikasi RS485 standar; Opsional Ether CAT, Ethernet industri, dll.
Catatan: produk terus berinovasi dan kinerjanya terus meningkat. Deskripsi parameter ini hanya untuk referensi.