RHH serían
MSB serían aflgjafi fyrir miðlungs tíðni sputtering

RHH serían af RF aflgjafar byggir á þroskaðri RF framleiðslutækni til að veita viðskiptavinum RF aflgjafa með meiri afli, meiri nákvæmni og hraðari svörun. Hægt er að stilla fasa, stjórna púls, stafrænni stillingu og öðrum aðgerðum. Notkunarsvið: sólarorkuiðnaður, flatskjáiðnaður, hálfleiðaraiðnaður, efnaiðnaður, rannsóknarstofur, vísindarannsóknir, framleiðsla o.s.frv.

Viðeigandi ferli: plasma-aukið efnafræðileg gufuútfelling (PECVD), plasmaetsun, plasmahreinsun, útvarpsbylgjujónagjafi, plasmadreifing, plasmafjölliðunarspúttrun, hvarfgjörn spúttrun o.s.frv.

Lykilatriði

● Hálfmúrsteins- og rekkafestingarstíll
● Notið fulla stafræna stjórn með þægilegri og fjölbreyttri notkunarvalmynd

● Tíðnistilling, púls og púlssamstillingaraðgerðir
● Með CEX fasa samstillingaraðgerð

● Fullkomin verndarvirkni

Helstu breyturnar

Inntak	Inntaksspenna: AC220V ± 10% 3ΦAC380V ± 5% (sérstakar upplýsingar geta verið aðlagaðar)
Inntak	Inntakstíðni: 47~63Hz
Úttak	Útgangstíðni: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Stillingarsvið: ±5%
	Úttaksafl: 1,5~5kW
	Reglugerðarsvið úttaksafls: 1~100%
	Útgangsimpedans: 50Ω+j0
	Úttaksviðmót: gerð N
	Úttaksstilling: samfelld, púls
	Púlstíðni: 100Hz ~ 100kHz
	Vinnuhringur: 5~95%
Árangursvísitala	Aflstuðull: 0,98
	Nákvæmni tíðnistöðugleika: ±0,005%
	Nýtni: 75% (við nafnafköst)
	Harmonísk:
	Flækjustig:
	Ytri stjórnviðmót: hliðrænt magn, samskipti og samstilling
	Samskiptastilling: Staðlað RS485 samskiptaviðmót; Valfrjálst Ether CAT, iðnaðar Ethernet, o.s.frv.
Athugið: Varan heldur áfram að þróast og afköstin halda áfram að batna. Þessi lýsing á breytum er eingöngu til viðmiðunar.

RHH seríanMSB serían aflgjafi fyrir miðlungs tíðni sputtering

Lykilatriði

Helstu breyturnar

RHH serían
MSB serían aflgjafi fyrir miðlungs tíðni sputtering