Dutch
English French German Portuguese Spanish Russian Japanese Korean Arabic Irish Greek Turkish Italian Danish Romanian Indonesian Czech Afrikaans Swedish Polish Basque Catalan Esperanto Hindi Lao Albanian Amharic Armenian Azerbaijani Belarusian Bengali Bosnian Bulgarian Cebuano Chichewa Corsican Croatian Dutch Estonian Filipino Finnish Frisian Galician Georgian Gujarati Haitian Hausa Hawaiian Hebrew Hmong Hungarian Icelandic Igbo Javanese Kannada Kazakh Khmer Kurdish Kyrgyz Latin Latvian Lithuanian Luxembou.. Macedonian Malagasy Malay Malayalam Maltese Maori Marathi Mongolian Burmese Nepali Norwegian Pashto Persian Punjabi Serbian Sesotho Sinhala Slovak Slovenian Somali Samoan Scots Gaelic Shona Sindhi Sundanese Swahili Tajik Tamil Telugu Thai Ukrainian Urdu Uzbek Vietnamese Welsh Xhosa Yiddish Yoruba Zulu Kinyarwanda Tatar Oriya Turkmen Uyghur
65964efzot
Inquiry
Form loading...

RHH-serie
MSB-serie middelfrequente sputtervoeding

De RHH-serie RF-voedingen maakt gebruik van beproefde RF-generatietechnologie om klanten te voorzien van RF-voedingen met een hoger vermogen, grotere precisie en snelle respons. De voedingen beschikken over instelbare fase, regelbare pulsen, digitale afstemming en andere functies. Toepassingsgebieden: fotovoltaïsche industrie, beeldschermindustrie, halfgeleiderindustrie, chemische industrie, laboratoria, wetenschappelijk onderzoek, productie, enz.

Toepasselijke processen: plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD), plasma-etsen, plasma-reiniging, radiofrequente ionenbron, plasma-diffusie, plasma-polymerisatie-sputteren, reactief sputteren, enz.

01

Belangrijkste kenmerken

  • ● Half-brick en rack-montagestijlen
  • ● Volledig digitale bediening met een handig en uitgebreid bedieningsmenu
  • ● Frequentie-afstemming, puls- en pulssynchronisatiefuncties
  • ● Met CEX-fasesynchronisatiefunctie
  • ● Perfecte beschermingsfunctie

De belangrijkste parameters

Invoer Ingangsspanning: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Specificaties op maat mogelijk)
Ingangsfrequentie: 47~63Hz
Uitvoer Uitgangsfrequentie: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Afstembereik: ±5%
Uitgangsvermogen: 1,5~5 kW
Regelbereik van het uitgangsvermogen: 1~100%
Uitgangsimpedantie: 50Ω+j0
Uitvoerinterface: type N
Uitgangsmodus: continu, puls
Pulsfrequentie: 100Hz~100kHz
Inschakelduur: 5~95%
Prestatie-index Vermogensfactor: 0,98
Nauwkeurigheid van de frequentiestabiliteit: ±0,005%
Rendement: 75% (bij nominaal vermogen)
Harmonischen:
Strooigeluid:
Externe besturingsinterface: analoge grootheid, communicatie en synchronisatie
Communicatiemodus: Standaard RS485-communicatie-interface; Optioneel: EtherCAT, industriële Ethernet, enz.
Let op: het product wordt continu vernieuwd en de prestaties blijven verbeteren. Deze parameterbeschrijving dient uitsluitend ter referentie.