Inquiry
Form loading...

RHH seriyası
MSB Seriyası Orta Tezlikli Püskürtmə Güc Təchizatı

RHH seriyalı RF enerji təchizatı, müştərilərə daha yüksək güc, daha yüksək dəqiqlik və sürətli cavab ilə RF enerji təchizatı təmin etmək üçün yetkin RF generasiya texnologiyasına əsaslanır. Faza tənzimlənə bilər, impuls idarə oluna bilər, rəqəmsal tənzimləmə və digər funksiyalar mövcuddur. Tətbiq olunan sahələr: fotovoltaik sənayesi, düz panelli ekran sənayesi, yarımkeçirici sənayesi, kimya sənayesi, laboratoriya, elmi tədqiqat, istehsal və s.

Tətbiq olunan proseslər: plazma ilə gücləndirilmiş kimyəvi buxar çöküntüsü (PECVD), plazma aşındırması, plazma təmizlənməsi, radiotezlikli ion mənbəyi, plazma diffuziyası, plazma polimerləşməsi püskürtməsi, reaktiv püskürtmə və s.

01

Əsas xüsusiyyətlər

  • ● Yarım kərpic və rəf montaj üslubları
  • ● Rahat və zəngin əməliyyat menyusu ilə tam rəqəmsal idarəetməni tətbiq edin
  • ● Tezlik tənzimləməsi, impuls və impuls sinxronizasiyası funksiyaları
  • ● CEX faza sinxronizasiya funksiyası ilə
  • ● Mükəmməl qoruma funksiyası

Əsas parametrlər

Giriş Giriş gərginliyi: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Xüsusi spesifikasiyalar fərdiləşdirilə bilər)
Giriş tezliyi: 47~63Hz
Çıxış Çıxış tezliyi: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
Sazlama diapazonu: ±5%
Çıxış gücü: 1.5~5kVt
Çıxış gücünün tənzimləmə diapazonu: 1~100%
Çıxış empedansı: 50Ω+j0
Çıxış interfeysi: N tipi
Çıxış rejimi: davamlı, impulslu
Nəbz tezliyi: 100Hz~100kHz
İş dövrü: 5~95%
Performans indeksi Güc faktoru: 0.98
Tezlik stabilliyinin dəqiqliyi: ±0.005%
Səmərəlilik: 75% (nominal çıxışda)
Harmonik:
Sərbəst:
Xarici idarəetmə interfeysi: analoq miqdar, rabitə və sinxronizasiya
Rabitə rejimi: Standart RS485 rabitə interfeysi; Könüllü Ether CAT, sənaye Ethernet və s.
Qeyd: məhsul yenilənməyə və performansın yaxşılaşmasına davam edir. Bu parametr təsviri yalnız istinad üçündür.