RHH 시리즈
MSB 시리즈 중주파 스퍼터링 전원 공급 장치

RHH 시리즈 RF 전원 공급 장치는 검증된 RF 생성 기술을 기반으로 고객에게 더욱 강력한 출력, 높은 정밀도 및 빠른 응답 속도를 제공합니다. 위상 설정, 펄스 제어, 디지털 튜닝 등의 기능을 갖추고 있습니다. 적용 분야: 태양광 산업, 평면 디스플레이 산업, 반도체 산업, 화학 산업, 실험실, 과학 연구, 제조 등

적용 가능한 공정: 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD), 플라즈마 에칭, 플라즈마 클리닝, 고주파 이온 소스, 플라즈마 확산, 플라즈마 중합 스퍼터링, 반응성 스퍼터링 등