Croatian
English French German Portuguese Spanish Russian Japanese Korean Arabic Irish Greek Turkish Italian Danish Romanian Indonesian Czech Afrikaans Swedish Polish Basque Catalan Esperanto Hindi Lao Albanian Amharic Armenian Azerbaijani Belarusian Bengali Bosnian Bulgarian Cebuano Chichewa Corsican Croatian Dutch Estonian Filipino Finnish Frisian Galician Georgian Gujarati Haitian Hausa Hawaiian Hebrew Hmong Hungarian Icelandic Igbo Javanese Kannada Kazakh Khmer Kurdish Kyrgyz Latin Latvian Lithuanian Luxembou.. Macedonian Malagasy Malay Malayalam Maltese Maori Marathi Mongolian Burmese Nepali Norwegian Pashto Persian Punjabi Serbian Sesotho Sinhala Slovak Slovenian Somali Samoan Scots Gaelic Shona Sindhi Sundanese Swahili Tajik Tamil Telugu Thai Ukrainian Urdu Uzbek Vietnamese Welsh Xhosa Yiddish Yoruba Zulu Kinyarwanda Tatar Oriya Turkmen Uyghur
65964efzot
Inquiry
Form loading...

RHH serija
MSB serija srednjefrekventnog napajanja za raspršivanje

RF napajanje serije RHH oslanja se na zrelu tehnologiju RF generacije kako bi kupcima pružilo RF napajanje s većom snagom, većom preciznošću i brzim odzivom. S mogućnošću podešavanja faze, upravljanjem impulsima, digitalnim podešavanjem i drugim funkcijama. Primjenjiva područja: fotonaponska industrija, industrija ravnih zaslona, ​​industrija poluvodiča, kemijska industrija, laboratorij, znanstvena istraživanja, proizvodnja itd.

Primjenjivi procesi: plazmom pojačano kemijsko taloženje iz pare (PECVD), plazma jetkanje, plazma čišćenje, radiofrekventni ionski izvor, plazma difuzija, plazma polimerizacija raspršivanje, reaktivno raspršivanje itd.

01

Ključne značajke

  • ● Izvedbe za montažu u poluciglu i u rack
  • ● Usvojite potpuno digitalno upravljanje s praktičnim i bogatim izbornikom za upravljanje
  • ● Funkcije podešavanja frekvencije, pulsa i sinkronizacije pulsa
  • ● S funkcijom CEX fazne sinkronizacije
  • ● Savršena zaštitna funkcija

Glavni parametri

Ulazni Ulazni napon: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (moguće je prilagoditi posebne specifikacije)
Ulazna frekvencija: 47~63Hz
Izlaz Izlazna frekvencija: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Raspon podešavanja: ±5%
Izlazna snaga: 1,5~5 kW
Raspon regulacije izlazne snage: 1~100%
Izlazna impedancija: 50Ω+j0
Izlazno sučelje: tip N
Izlazni način: kontinuirani, pulsni
Frekvencija impulsa: 100Hz~100kHz
Radni ciklus: 5~95%
Indeks performansi Faktor snage: 0,98
Točnost stabilnosti frekvencije: ±0,005%
Učinkovitost: 75% (pri nazivnoj snazi)
Harmonik:
Lutanje:
Vanjsko upravljačko sučelje: analogna količina, komunikacija i sinkronizacija
Način komunikacije: Standardno komunikacijsko sučelje RS485; Opcionalno Ether CAT, industrijski Ethernet itd.
Napomena: proizvod se neprestano razvija, a performanse se i dalje poboljšavaju. Ovaj opis parametra služi samo kao referenca.