Inquiry
Form loading...

RHH цуврал
MSB цувралын дунд давтамжийн цацалтын цахилгаан хангамж

RHH цувралын RF цахилгаан хангамж нь хэрэглэгчдэд илүү их хүч чадал, өндөр нарийвчлал, хурдан хариу үйлдэл бүхий RF цахилгаан хангамжийг хангахын тулд дэвшилтэт RF үүсгэх технологид суурилдаг. Фазыг тохируулах, импульсийг хянах, дижитал тохируулга хийх болон бусад функцуудтай. Холбогдох салбарууд: фотоэлектрик үйлдвэрлэл, хавтгай самбарын дэлгэцийн үйлдвэрлэл, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, химийн үйлдвэрлэл, лаборатори, шинжлэх ухааны судалгаа, үйлдвэрлэл гэх мэт.

Холбогдох үйл явц: плазмын сайжруулсан химийн ууршилт (PECVD), плазмын сийлбэр, плазмын цэвэрлэгээ, радио давтамжийн ионы эх үүсвэр, плазмын диффуз, плазмын полимержилтийн цацалт, реактив цацалт гэх мэт.

01

Гол онцлогууд

  • ● Хагас тоосго болон тавиур бэхэлгээний загварууд
  • ● Тохиромжтой, баялаг үйл ажиллагааны цэстэй, бүрэн дижитал хяналтыг нэвтрүүлэх
  • ● Давтамжийн тохируулга, импульс болон импульсийн синхрончлолын функцууд
  • ● CEX фазын синхрончлолын функцтэй
  • ● Төгс хамгаалалтын функц

Үндсэн параметрүүд

Оролт Оролтын хүчдэл: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Тусгай үзүүлэлтүүдийг өөрчилж болно)
Оролтын давтамж: 47~63Гц
Гаралт Гаралтын давтамж: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
Тохируулгын хүрээ: ±5%
Гаралтын чадал: 1.5~5кВт
Гаралтын чадлын зохицуулалтын хүрээ: 1~100%
Гаралтын эсэргүүцэл: 50Ω+j0
Гаралтын интерфэйс: N төрөл
Гаралтын горим: тасралтгүй, импульс
Пульсийн давтамж: 100Гц~100кГц
Ажлын мөчлөг: 5~95%
Гүйцэтгэлийн индекс Чадлын хүчин зүйл: 0.98
Давтамжийн тогтвортой байдлын нарийвчлал: ±0.005%
Үр ашиг: 75% (нэрлэсэн гаралтын үед)
Гармоник:
Төөрсөн:
Гадаад удирдлагын интерфэйс: аналог тоо хэмжээ, харилцаа холбоо болон синхрончлол
Харилцаа холбооны горим: Стандарт RS485 холбооны интерфэйс; Нэмэлт Ether CAT, үйлдвэрлэлийн Ethernet гэх мэт.
Тэмдэглэл: бүтээгдэхүүн нь шинэчлэгдэж, гүйцэтгэл нь сайжирсаар байна. Энэхүү параметрийн тайлбар нь зөвхөн лавлагаанд зориулагдсан болно.