Portuguese
English French German Portuguese Spanish Russian Japanese Korean Arabic Irish Greek Turkish Italian Danish Romanian Indonesian Czech Afrikaans Swedish Polish Basque Catalan Esperanto Hindi Lao Albanian Amharic Armenian Azerbaijani Belarusian Bengali Bosnian Bulgarian Cebuano Chichewa Corsican Croatian Dutch Estonian Filipino Finnish Frisian Galician Georgian Gujarati Haitian Hausa Hawaiian Hebrew Hmong Hungarian Icelandic Igbo Javanese Kannada Kazakh Khmer Kurdish Kyrgyz Latin Latvian Lithuanian Luxembou.. Macedonian Malagasy Malay Malayalam Maltese Maori Marathi Mongolian Burmese Nepali Norwegian Pashto Persian Punjabi Serbian Sesotho Sinhala Slovak Slovenian Somali Samoan Scots Gaelic Shona Sindhi Sundanese Swahili Tajik Tamil Telugu Thai Ukrainian Urdu Uzbek Vietnamese Welsh Xhosa Yiddish Yoruba Zulu Kinyarwanda Tatar Oriya Turkmen Uyghur
65964efzot
Inquiry
Form loading...

Série RHH
Fonte de alimentação para pulverização catódica de média frequência da série MSB

A série RHH de fontes de alimentação de RF utiliza tecnologia de geração de RF consolidada para fornecer aos clientes uma fonte de alimentação com maior potência, precisão e resposta rápida. Possui funções como ajuste de fase, controle de pulso e sintonia digital. Aplicações: indústria fotovoltaica, indústria de telas planas, indústria de semicondutores, indústria química, laboratórios, pesquisa científica, manufatura, etc.

Processos aplicáveis: deposição química de vapor assistida por plasma (PECVD), gravação a plasma, limpeza a plasma, fonte de íons de radiofrequência, difusão de plasma, pulverização catódica por polimerização a plasma, pulverização catódica reativa, etc.

01

Principais características

  • ● Estilos de montagem em meia-tijolo e em rack
  • ● Adota controle totalmente digital, com menu de operação conveniente e completo.
  • ● Funções de ajuste de frequência, pulso e sincronização de pulsos
  • ● Com função de sincronização de fase CEX
  • ● Função de proteção perfeita

Os principais parâmetros

Entrada Tensão de entrada: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Especificações especiais podem ser personalizadas)
Frequência de entrada: 47~63Hz
Saída Frequência de saída: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Faixa de ajuste: ±5%
Potência de saída: 1,5~5 kW
Faixa de regulação da potência de saída: 1~100%
Impedância de saída: 50Ω+j0
Interface de saída: tipo N
Modo de saída: contínuo, pulso
Frequência de pulso: 100Hz~100kHz
Ciclo de trabalho: 5~95%
Índice de desempenho Fator de potência: 0,98
Precisão da estabilidade de frequência: ±0,005%
Eficiência: 75% (na potência nominal)
Harmônico:
Ruído disperso:
Interface de controle externo: grandeza analógica, comunicação e sincronização.
Modo de comunicação: Interface de comunicação RS485 padrão; EtherCAT opcional, Ethernet industrial, etc.
Nota: o produto continua a inovar e o desempenho continua a melhorar. Esta descrição de parâmetros serve apenas como referência.