Inquiry
Form loading...

RHH serija
MSB serija srednjefrekventnih izvora napajanja za raspršivanje

RHH serija RF napajanja oslanja se na zrelu tehnologiju RF generisanja kako bi kupcima pružila RF napajanje sa većom snagom, većom preciznošću i brzim odzivom. Sa mogućnošću podešavanja faze, kontrolom impulsa, digitalnim podešavanjem i drugim funkcijama. Primjenjiva područja: fotonaponska industrija, industrija ravnih ekrana, industrija poluprovodnika, hemijska industrija, laboratorija, naučna istraživanja, proizvodnja itd.

Primjenjivi procesi: plazmom poboljšano hemijsko taloženje iz pare (PECVD), plazma nagrizanje, plazma čišćenje, radiofrekventni izvor jona, plazma difuzija, plazma polimerizacija raspršivanje, reaktivno raspršivanje itd.

01

Ključne karakteristike

  • ● Modeli za montažu u rack i polu-ciglu
  • ● Usvojite potpuno digitalnu kontrolu, sa praktičnim i bogatim menijem za upravljanje
  • ● Funkcije podešavanja frekvencije, pulsa i sinhronizacije pulsa
  • ● Sa CEX funkcijom fazne sinhronizacije
  • ● Savršena zaštitna funkcija

Glavni parametri

Unos Ulazni napon: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Posebne specifikacije se mogu prilagoditi)
Ulazna frekvencija: 47~63Hz
Izlaz Izlazna frekvencija: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
Raspon podešavanja: ±5%
Izlazna snaga: 1,5~5 kW
Raspon regulacije izlazne snage: 1~100%
Izlazna impedancija: 50Ω+j0
Izlazni interfejs: tip N
Izlazni način rada: kontinuirani, pulsni
Frekvencija impulsa: 100Hz~100kHz
Radni ciklus: 5~95%
Indeks performansi Faktor snage: 0,98
Tačnost stabilnosti frekvencije: ±0,005%
Efikasnost: 75% (pri nazivnoj snazi)
Harmonik:
Lutanje:
Vanjski upravljački interfejs: analogna količina, komunikacija i sinhronizacija
Način komunikacije: Standardni RS485 komunikacijski interfejs; Opciono Ether CAT, industrijski Ethernet, itd.
Napomena: proizvod se neprestano razvija i performanse se nastavljaju poboljšavati. Ovaj opis parametra služi samo kao referenca.