RPJ-reeks
RF-kragtoevoer

Die RPJ-reeks maak staat op volwasse RF-genereringstegnologie om kliënte van RF-kragbronne met groter krag, hoër presisie en vinnige reaksie te voorsien. Dit het funksies soos fase-instelling en pulsbeheer.

Toepaslike velde: fotovoltaïese industrie, platskermbedryf, halfgeleierbedryf, chemiese industrie, laboratorium, wetenskaplike navorsing, vervaardiging, ens.

Toepaslike prosesse: plasma-versterkte chemiese dampafsetting (PECVD), plasma-subliggaam-etsing, plasmaskoonmaak, radiofrekwensie-ioonbron, plasmadiffusie, plasmapolimerisasie-sputtering, reaktiewe sputtering, ens.

Belangrike kenmerke

● Aanvaarding van volle digitale beheer en hoë-presisie sensors

● In staat om pulsuitset te bereik
● Impedansie-kragopsporing in reële tyd

● CEX eksterne seininvoer, presiese beheer van elke fase

Die hoofparameters

Invoer

Insetspanning 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Omskakelingsdoeltreffendheid ≥70%

Uitset

Uitsetkrag 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Uitsetfrekwensie 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz, 60MHz
Uitsetimpedansie 50Ω+0j
Uitsetfrekwensie stabiliteit ±0.005%
Uitsetmodus Deurlopend, puls

Prestasie-indeks

Kragnauwkeurigheid 4Wor±1%
Harmoniese -40dBc
Vals -40dBc
Pulsfrekwensie 100Hz~20kHz
Minimum pulswydte 25μs
Beheerkoppelvlak Analoog, RS-232, Ethernet, EtherCAT ens.

Let wel: die produk hou aan om te innoveer en die werkverrigting verbeter steeds. Hierdie parameterbeskrywing is slegs vir verwysing.

Meer inligting

Laai af

RPJ-reeks RF-kragtoevoer-datablad
Laai af

Terug na Kragoplossingsentrum

RPJ-reeksRF-kragtoevoer