RPJ-serien
RF-strømforsyning

RPJ-serien er afhængig af moden RF-genereringsteknologi for at give kunderne RF-strømforsyninger med større effekt, højere præcision og hurtig respons. Den har funktioner som faseindstilling og pulsstyring.

Anvendelige områder: fotovoltaisk industri, fladskærmsindustri, halvlederindustri, kemisk industri, laboratorium, videnskabelig forskning, fremstilling osv.

Anvendelige processer: plasmaforstærket kemisk dampaflejring (PECVD), plasma-subkropsætsning, plasmarensning, radiofrekvensionkilde, plasmadiffusion, plasmapolymerisationssputtering, reaktiv sputtering osv.

Nøglefunktioner

● Anvendelse af fuld digital styring og højpræcisionssensorer

● Kan opnå pulsudgang
● Impedanseffektdetektion i realtid

● CEX eksternt signalindgang, præcis styring af hver fase

De vigtigste parametre

Input

Indgangsspænding 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Konverteringseffektivitet ≥70%

Produktion

Udgangseffekt 3 kW, 6 kW, 12 kW, 20 kW, 24 kW
Udgangsfrekvens 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Udgangsimpedans 50Ω+0j
Udgangsfrekvensstabilitet ±0,005%
Udgangstilstand Kontinuerlig, puls

Ydelsesindeks

Effektnøjagtighed 4Wor±1%
Harmonisk -40dBc
Falsk -40dBc
Pulsfrekvens 100Hz~20kHz
Minimum pulsbredde 25 μs
Styregrænseflade analog, RS-232, Ethernet, EtherCAT osv.

Bemærk: Produktet fortsætter med at innovere, og ydeevnen forbedres løbende. Denne parameterbeskrivelse er kun til reference.

Mere information

Download

RPJ-serien RF-strømforsyning - datablad
Download

Tilbage til Power Solutions Center

RPJ-serienRF-strømforsyning