RPJ-sarja
RF-virtalähde

RPJ-sarja perustuu kypsään RF-generointitekniikkaan tarjotakseen asiakkaille RF-virtalähteitä, joilla on suurempi teho, suurempi tarkkuus ja nopea vaste. Siinä on toimintoja, kuten vaiheasetus ja pulssinsäätö.

Sovellettavat kentät: aurinkosähköteollisuus, litteiden näyttöjen teollisuus, puolijohdeteollisuus, kemianteollisuus, laboratorio, tieteellinen tutkimus, valmistus jne.

Sovellettavat prosessit: plasmalla tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus (PECVD), plasman alirunkoetsaus, plasman puhdistus, radiotaajuusionilähde, plasmadiffuusio, plasmapolymerointisputterointi, reaktiivinen sputterointi jne.

Tärkeimmät ominaisuudet

● Täysin digitaalisen ohjauksen ja erittäin tarkkojen antureiden käyttöönotto

● Pystyy saavuttamaan pulssilähdön
● Reaaliaikainen impedanssin tehon tunnistus

● CEX ulkoinen signaalitulo, jokaisen vaiheen tarkka ohjaus

Tärkeimmät parametrit

Syöttö

Tulojännite 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Muunnostehokkuus ≥70%

Lähtö

Lähtöteho 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Lähtötaajuus 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Lähtöimpedanssi 50Ω+0j
Lähtötaajuuden vakaus ±0,005 %
Lähtötila Jatkuva, pulssi

Suorituskykyindeksi

Tehokerroin 4Wor±1%
Harmoninen -40dBc
Harha-aalto -40dBc
Pulssitaajuus 100 Hz–20 kHz
Pulssin vähimmäisleveys 25 μs
Ohjausliitäntä Analoginen, RS-232, Ethernet, EtherCAT jne.

Huomautus: Tuotetta kehitetään jatkuvasti ja sen suorituskyky paranee jatkuvasti. Tämä parametrikuvaus on vain viitteellinen.

Lisätietoja

Lataa

RPJ-sarjan RF-virtalähteen tietolomake
Lataa

Takaisin Power Solutions Centeriin

RPJ-sarjaRF-virtalähde