Řada RPJ
VF napájecí zdroj

Řada RPJ se spoléhá na vyspělou technologii generování RF signálu, aby zákazníkům poskytla RF napájecí zdroje s větším výkonem, vyšší přesností a rychlou odezvou. Má funkce, jako je nastavení fáze a řízení pulzů.

Použitelné oblasti: fotovoltaický průmysl, průmysl plochých displejů, polovodičový průmysl, chemický průmysl, laboratoř, vědecký výzkum, výroba atd.

Použitelné procesy: plazmově vylepšená chemická depozice z plynné fáze (PECVD), leptání plazmových dílčích těles, plazmové čištění, radiofrekvenční iontový zdroj, plazmová difúze, plazmové polymerační naprašování, reaktivní naprašování atd.