RPJ цуврал
RF цахилгаан хангамж

RPJ цуврал нь хэрэглэгчдэд илүү их хүч чадал, өндөр нарийвчлал, хурдан хариу үйлдэл бүхий RF цахилгаан хангамжийг хангахын тулд боловсорсон RF үүсгэх технологид тулгуурладаг. Энэ хэрэгсэл нь фазын тохиргоо болон импульсийн хяналт зэрэг функцуудтай.

Холбогдох салбарууд: фотоэлектрик үйлдвэрлэл, хавтгай самбарын дэлгэцийн үйлдвэрлэл, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, химийн үйлдвэрлэл, лаборатори, шинжлэх ухааны судалгаа, үйлдвэрлэл гэх мэт.

Холбогдох үйл явц: плазмын сайжруулсан химийн ууршилт (PECVD), плазмын дэд биетийг сийлбэрлэх, плазмын цэвэрлэгээ, радио давтамжийн ионы эх үүсвэр, плазмын диффуз, плазмын полимержилтийн цацалт, реактив цацалт гэх мэт.

Гол онцлогууд

● Бүрэн дижитал удирдлага болон өндөр нарийвчлалтай мэдрэгчийг нэвтрүүлэх

● Импульсийн гаралтад хүрэх чадвартай
● Бодит цагийн импедансын чадлын илрүүлэлт

● CEX гадаад дохионы оролт, фаз бүрийн нарийн хяналт

Үндсэн параметрүүд

Оролт

Оролтын хүчдэл 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Хөрвүүлэлтийн үр ашиг ≥70%

Гаралт

Гаралтын чадал 3кВт, 6кВт, 12кВт, 20кВт, 24кВт
Гаралтын давтамж 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz, 60MHz
Гаралтын эсэргүүцэл 50Ω+0j
Гаралтын давтамжийн тогтвортой байдал ±0.005%
Гаралтын горим Тасралтгүй, импульс

Гүйцэтгэлийн индекс

Цахилгаан хуримтлал 4Wor±1%
Гармоник -40dBc
Хуурамч -40dBc
Пульсийн давтамж 100Гц~20кГц
Хамгийн бага импульсийн өргөн 25μs
Хяналтын интерфэйс Аналог, RS-232, Ethernet, EtherCAT гэх мэт.

Тэмдэглэл: бүтээгдэхүүн нь шинэчлэгдэж, гүйцэтгэл нь сайжирсаар байна. Энэхүү параметрийн тайлбар нь зөвхөн лавлагаанд зориулагдсан болно.

Дэлгэрэнгүй мэдээлэл

Татаж авах

RPJ цувралын RF цахилгаан хангамжийн мэдээллийн хуудас
Татаж авах

Эрчим хүчний шийдлүүдийн төв рүү буцах

RPJ цувралRF цахилгаан хангамж