RPJ serija
RF napajanje

Serija RPJ oslanja se na zrelu tehnologiju RF generacije kako bi kupcima pružila RF napajanja s većom snagom, većom preciznošću i brzim odzivom. Alat ima funkcije kao što su podešavanje faze i kontrola impulsa.

Primjenjiva područja: fotonaponska industrija, industrija ravnih zaslona, poluvodička industrija, kemijska industrija, laboratorij, znanstvena istraživanja, proizvodnja itd.

Primjenjivi procesi: plazmom pojačano kemijsko taloženje iz pare (PECVD), plazma nagrizanje pod-tijela, plazma čišćenje, radiofrekventni ionski izvor, plazma difuzija, plazma polimerizacija raspršivanje, reaktivno raspršivanje itd.

Ključne značajke

● Primjena potpuno digitalne kontrole i visokopreciznih senzora

● Može postići impulsni izlaz
● Detekcija snage impedancije u stvarnom vremenu

● CEX ulaz vanjskog signala, precizna kontrola svake faze

Glavni parametri

Ulazni

Ulazni napon 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Učinkovitost konverzije ≥70%

Izlaz

Izlazna snaga 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Izlazna frekvencija 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Izlazna impedancija 50Ω+0j
Stabilnost izlazne frekvencije ±0,005%
Izlazni način rada Kontinuirani, impulsni

Indeks performansi

Napon napajanja 4Wor±1%
Harmonik -40dBc
Lažno -40dBc
Frekvencija impulsa 100Hz~20kHz
Minimalna širina impulsa 25 μs
Upravljačko sučelje Analogno, RS-232, Ethernet, EtherCAT itd.

Napomena: proizvod se neprestano razvija, a performanse se i dalje poboljšavaju. Ovaj opis parametra služi samo kao referenca.

Više informacija

Preuzmi

RPJ serija RF napajanja - podatkovni list
Preuzmi

Natrag u Centar za energetska rješenja

RPJ serijaRF napajanje