RPJ serija
RF maitinimo šaltinis

RPJ serija remiasi brandžia RF generavimo technologija, kad klientams būtų teikiami didesnės galios, didesnio tikslumo ir greitesnio reagavimo RF maitinimo šaltiniai. Įrankis turi tokias funkcijas kaip fazės nustatymas ir impulsų valdymas.

Taikomos sritys: fotovoltinė pramonė, plokščiųjų ekranų pramonė, puslaidininkių pramonė, chemijos pramonė, laboratorija, moksliniai tyrimai, gamyba ir kt.

Taikomi procesai: plazmos sustiprintas cheminis garų nusodinimas (PECVD), plazminis pokūnio ėsdinimas, plazminis valymas, radijo dažnių jonų šaltinis, plazmos difuzija, plazmos polimerizacijos dulkinimas, reaktyvusis dulkinimas ir kt.