RPJ Seriyası
RF Enerji Təchizatı

RPJ Seriyası, müştərilərə daha yüksək güc, daha yüksək dəqiqlik və sürətli cavab verən RF enerji təchizatı təmin etmək üçün yetkin RF generasiya texnologiyasına əsaslanır. Alət faza qəbulu və impuls nəzarəti kimi funksiyalara malikdir.

Tətbiq olunan sahələr: fotovoltaik sənayesi, düz panelli ekran sənayesi, yarımkeçirici sənayesi, kimya sənayesi, laboratoriya, elmi tədqiqat, istehsal və s.

Tətbiq olunan proseslər: plazma ilə gücləndirilmiş kimyəvi buxar çöküntüsü (PECVD), plazma alt gövdə aşındırması, plazma təmizlənməsi, radiotezlikli ion mənbəyi, plazma diffuziyası, plazma polimerləşməsi püskürtməsi, reaktiv püskürtmə və s.

Əsas xüsusiyyətlər

● Tam rəqəmsal idarəetmə və yüksək dəqiqlikli sensorların tətbiqi

● İmpuls çıxışına nail olmaq qabiliyyəti
● Real vaxt rejimində impedans gücünün aşkarlanması

● CEX xarici siqnal girişi, hər fazanın dəqiq idarə olunması

Əsas parametrlər

Giriş

Giriş gərginliyi 3φAC208V, 3φAC380V;50/60Hz
Çevrilmə səmərəliliyi ≥70%

Çıxış

Çıxış gücü 3kVt, 6kVt, 12kVt, 20kVt, 24kVt
Çıxış tezliyi 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz, 60MHz
Çıxış empedansı 50Ω+0j
Çıxış tezliyinin sabitliyi ±0.005%
Çıxış rejimi Davamlı, impulslu

Performans indeksi

Güc yığımı 4Wor±1%
Harmonik -40dBc
Saxta -40dBc
Nəbz tezliyi 100Hz~20kHz
Minimum impuls eni 25μs
İdarəetmə interfeysi Analoq, RS-232, Ethernet, EtherCAT və s.

Qeyd: məhsul yenilənməyə və performansın yaxşılaşmasına davam edir. Bu parametr təsviri yalnız istinad üçündür.

Daha çox məlumat

Yükləyin

RPJ Seriyası RF Enerji Təchizatı-Məlumat Cədvəli
Yükləyin

Enerji Həlləri Mərkəzinə qayıt

RPJ SeriyasıRF Enerji Təchizatı