РПЈ серија
РФ напајање

Серија RPJ се ослања на зрелу технологију генерације РФ сигнала како би купцима пружила РФ напајања са већом снагом, већом прецизношћу и брзим одзивом. Алат има функције као што су подешавање фазе и контрола импулса.

Применљиве области: фотонапонска индустрија, индустрија равних екрана, полупроводничка индустрија, хемијска индустрија, лабораторија, научна истраживања, производња итд.

Применљиви процеси: хемијско таложење из паре побољшано плазмом (PECVD), плазма нагризање подтела, плазма чишћење, радиофреквентни јонски извор, плазма дифузија, плазма полимеризационо распршивање, реактивно распршивање итд.

Кључне карактеристике

● Усвајање потпуно дигиталне контроле и високопрецизних сензора

● Може да постигне импулсни излаз
● Детекција снаге импедансе у реалном времену

● CEX спољни сигнални улаз, прецизна контрола сваке фазе

Главни параметри

Унос

Улазни напон 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Ефикасност конверзије ≥70%

Излаз

Излазна снага 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Излазна фреквенција 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Излазна импеданса 50Ω+0j
Стабилност излазне фреквенције ±0,005%
Излазни режим Континуирани, импулсни

Индекс учинка

Напон 4Wor±1%
Хармонијски -40dBc
Лажно -40dBc
Фреквенција импулса 100Hz~20kHz
Минимална ширина импулса 25μs
Контролни интерфејс: аналогни, RS-232, Ethernet, EtherCAT итд.

Напомена: производ се стално унапређује и перформансе се стално побољшавају. Овај опис параметра је само за референцу.

Више информација

Преузми

RPJ серија РФ напајање - Технички лист
Преузми

Назад у Центар за решења за напајање

РПЈ серијаРФ напајање