Serje RPJ
Provvista tal-Enerġija RF

Is-Serje RPJ tiddependi fuq teknoloġija matura ta' ġenerazzjoni RF biex tipprovdi lill-klijenti b'provvisti ta' enerġija RF b'qawwa akbar, preċiżjoni ogħla, u rispons veloċi. Għandha funzjonijiet bħall-issettjar tal-fażi u l-kontroll tal-polz.

Oqsma applikabbli: industrija fotovoltajka, industrija tal-wiri b'pannelli ċatti, industrija tas-semikondutturi, industrija kimika, laboratorju, riċerka xjentifika, manifattura, eċċ.

Proċessi applikabbli: depożizzjoni kimika tal-fwar imsaħħa bil-plażma (PECVD), inċiżjoni tas-sottoġisem bil-plażma, tindif bil-plażma, sors ta' joni ta' frekwenza tar-radju, diffużjoni tal-plażma, sputtering tal-polimerizzazzjoni tal-plażma, sputtering reattiv, eċċ.

Karatteristiċi ewlenin

● L-adozzjoni ta' kontroll diġitali sħiħ u sensuri ta' preċiżjoni għolja

● Kapaċi jikseb output tal-polz
● Sejbien tal-qawwa tal-impedenza f'ħin reali

● Input tas-sinjal estern CEX, kontroll preċiż ta' kull fażi

Il-parametri ewlenin

Input

Vultaġġ tad-dħul 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Effiċjenza tal-konverżjoni ≥70%

Output

Qawwa tal-ħruġ 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Frekwenza tal-ħruġ 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz, 60MHz
Impedenza tal-ħruġ 50Ω+0j
Stabbiltà tal-frekwenza tal-ħruġ ±0.005%
Modalità tal-ħruġ Kontinwu, impuls

Indiċi tal-prestazzjoni

Preċiżjoni tal-qawwa 4Wor±1%
Armoniku -40dBc
Falz -40dBc
Frekwenza tal-polz 100Hz ~ 20kHz
Wisa' minima tal-polz 25μs
Interfaċċja ta' kontroll Analogu, RS-232, Ethernet, EtherCAT eċċ.

Nota: il-prodott ikompli jinnova u l-prestazzjoni tkompli titjieb. Din id-deskrizzjoni tal-parametri hija għal referenza biss.

Aktar informazzjoni

Niżżel

Skeda Teknika tal-Provvista tal-Enerġija RF tas-Serje RPJ
Niżżel

Lura għaċ-Ċentru tas-Soluzzjonijiet tal-Enerġija

Serje RPJProvvista tal-Enerġija RF