Серия RPJ
Радиочестотно захранване

Серията RPJ разчита на зряла технология за генериране на радиочестотни сигнали, за да осигури на клиентите си радиочестотни захранвания с по-голяма мощност, по-висока прецизност и бърза реакция. Инструментът има функции като настройка на фазата и контрол на импулсите.

Приложими области: фотоволтаична индустрия, индустрия за плоски дисплеи, полупроводникова индустрия, химическа промишленост, лаборатория, научни изследвания, производство и др.

Приложими процеси: плазмено усилено химическо отлагане от пари (PECVD), плазмено ецване на подчастици, плазмено почистване, радиочестотен йонен източник, плазмена дифузия, плазмено полимеризационно разпрашване, реактивно разпрашване и др.