Serie RPJ
Alimentatore RF

La serie RPJ si basa sulla tecnologia di generazione RF matura per fornire ai clienti alimentatori RF con maggiore potenza, maggiore precisione e risposta rapida. Lo strumento è dotato di funzioni quali l'impostazione di fase e il controllo degli impulsi.

Campi di applicazione: industria fotovoltaica, industria dei display a schermo piatto, industria dei semiconduttori, industria chimica, laboratorio, ricerca scientifica, produzione, ecc.

Processi applicabili: deposizione chimica da vapore potenziata al plasma (PECVD), incisione sub-body al plasma, pulizia al plasma, sorgente di ioni a radiofrequenza, diffusione al plasma, polimerizzazione al plasma, sputtering reattivo, ecc.

Caratteristiche principali

● Adottando il controllo digitale completo e sensori ad alta precisione

● In grado di ottenere un'uscita a impulsi
● Rilevamento della potenza di impedenza in tempo reale

● Ingresso segnale esterno CEX, controllo preciso di ogni fase

I parametri principali

Ingresso

Tensione di ingresso 3φAC208V,3φAC380V;50/60Hz
Efficienza di conversione ≥70%

Produzione

Potenza di uscita 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Frequenza di uscita 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Impedenza di uscita 50Ω+0j
Stabilità della frequenza di uscita ±0,005%
Modalità di uscita Continua, a impulsi

Indice di prestazione

Precisione di potenza 4W o ± 1%
Armonica -40dBc
Spuri -40dBc
Frequenza degli impulsi 100Hz~20kHz
Larghezza minima dell'impulso 25μs
Interfaccia di controllo Analogica, RS-232, Ethernet, EtherCAT ecc.

Nota: il prodotto continua a essere innovativo e le prestazioni continuano a migliorare. La descrizione di questo parametro è solo a scopo di riferimento.

Ulteriori informazioni

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Scheda tecnica dell'alimentatore RF serie RPJ
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