Serie RPJ
Alimentazione RF

A serie RPJ si basa nantu à una tecnulugia di generazione RF matura per furnisce à i clienti alimentatori RF cù una putenza più grande, una precisione più alta è una risposta rapida. Hà funzioni cum'è l'impostazione di fase è u cuntrollu di l'impulsi.

Campi applicabili: industria fotovoltaica, industria di display à schermu pianu, industria di semiconduttori, industria chimica, laburatoriu, ricerca scientifica, fabricazione, ecc.

Prucessi applicabili: deposizione chimica di vapore rinfurzata da plasma (PECVD), incisione di sottocorpi à plasma, pulizia à plasma, fonte di ioni à radiofrequenza, diffusione à plasma, sputtering à polimerizazione à plasma, sputtering reattivu, ecc.

Caratteristiche principali

● Aduttendu un cuntrollu digitale cumpletu è sensori d'alta precisione

● Capacità di ottene una pruduzzione à impulsi
● Rilevazione di putenza d'impedenza in tempu reale

● Ingressu di signale esternu CEX, cuntrollu precisu di ogni fase

I parametri principali

Input

Tensione d'entrata 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Efficienza di cunversione ≥70%

Surtita

Putenza di uscita 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Frequenza di uscita 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Impedenza di uscita 50Ω+0j
Stabilità di frequenza di uscita ±0,005%
Modu di surtita Continuu, impulsi

Indice di rendiment

Precisione di putenza 4Wor ± 1%
Armonica -40dBc
Spuriu -40dBc
Frequenza di impulsi 100Hz ~ 20kHz
Larghezza minima di l'impulsu 25 μs
Interfaccia di cuntrollu Analogica, RS-232, Ethernet, EtherCAT ecc.

Nota: u pruduttu cuntinueghja à innovà è e prestazioni cuntinueghjanu à migliurà. Sta descrizzione di i parametri hè solu per riferimentu.

Più infurmazione

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Scheda tecnica di l'alimentatore RF di a serie RPJ
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