RPJ-serien
RF-strømforsyning

RPJ-serien er avhengig av moden RF-genereringsteknologi for å gi kundene RF-strømforsyninger med større kraft, høyere presisjon og rask respons. Den har funksjoner som faseinnstilling og pulskontroll.

Gjeldende felt: fotovoltaisk industri, flatskjermindustri, halvlederindustri, kjemisk industri, laboratorium, vitenskapelig forskning, produksjon osv.

Anvendelige prosesser: plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD), plasma-subkroppetsing, plasmarengjøring, radiofrekvensionkilde, plasmadiffusjon, plasmapolymerisasjonssputtering, reaktiv sputtering, etc.

Viktige funksjoner

● Bruk av full digital kontroll og høypresisjonssensorer

● Kan oppnå pulsutgang
● Impedanseffektdeteksjon i sanntid

● CEX ekstern signalinngang, presis kontroll av hver fase

De viktigste parameterne

Inndata

Inngangsspenning 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Konversjonseffektivitet ≥70 %

Produksjon

Utgangseffekt 3 kW, 6 kW, 12 kW, 20 kW, 24 kW
Utgangsfrekvens 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Utgangsimpedans 50Ω+0j
Utgangsfrekvensstabilitet ±0,005 %
Utgangsmodus Kontinuerlig, puls

Ytelsesindeks

Strømnøyaktighet 4Wor±1%
Harmonisk -40dBc
Falsk -40dBc
Pulsfrekvens 100Hz~20kHz
Minimum pulsbredde 25 μs
Kontrollgrensesnitt analogt, RS-232, Ethernet, EtherCAT osv.

Merk: Produktet fortsetter å utvikle seg, og ytelsen fortsetter å forbedres. Denne parameterbeskrivelsen er kun ment som referanse.

Mer informasjon

Last ned

RPJ-serien RF-strømforsyning – datablad
Last ned

Tilbake til Power Solutions Center

RPJ-serienRF-strømforsyning