RPJ sērija
RF barošanas avots

RPJ sērija balstās uz nobriedušu RF ģenerēšanas tehnoloģiju, lai nodrošinātu klientus ar RF barošanas avotiem ar lielāku jaudu, augstāku precizitāti un ātru reaģēšanu. Tai ir tādas funkcijas kā fāzes iestatīšana un impulsu kontrole.

Piemērojamās jomas: fotoelektriskā rūpniecība, plakanā paneļa displeju rūpniecība, pusvadītāju rūpniecība, ķīmiskā rūpniecība, laboratorija, zinātniskā pētniecība, ražošana utt.

Piemērojamie procesi: plazmas pastiprināta ķīmiskā tvaiku uzklāšana (PECVD), plazmas apakšķermeņa kodināšana, plazmas tīrīšana, radiofrekvences jonu avots, plazmas difūzija, plazmas polimerizācijas izsmidzināšana, reaktīvā izsmidzināšana utt.

Galvenās iezīmes

● Pilnībā digitālas vadības un augstas precizitātes sensoru izmantošana

● Spēj sasniegt impulsa izeju
● Reāllaika impedances jaudas noteikšana

● CEX ārējā signāla ieeja, precīza katras fāzes vadība

Galvenie parametri

Ievade

Ieejas spriegums 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Konversijas efektivitāte ≥70%

Izvade

Izejas jauda 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Izejas frekvence 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Izejas pretestība 50Ω+0j
Izejas frekvences stabilitāte ±0,005%
Izejas režīms Nepārtraukts, impulss

Veiktspējas indekss

Jaudas akumulācija 4Wor±1%
Harmoniskais -40dBc
Viltus -40dBc
Impulsa frekvence 100 Hz ~ 20 kHz
Minimālais impulsa platums 25 μs
Vadības saskarne Analogā, RS-232, Ethernet, EtherCAT utt.

Piezīme: produkts turpina tikt ieviests jauninājumos un tā veiktspēja turpina uzlaboties. Šis parametru apraksts ir paredzēts tikai uzziņai.

Vairāk informācijas

Lejupielādēt

RPJ sērijas RF barošanas bloks — datu lapa
Lejupielādēt

Atpakaļ uz Enerģijas risinājumu centru

RPJ sērijaRF barošanas avots