RPJ серија
RF напојување

Серијата RPJ се потпира на зрела технологија за генерирање RF за да им обезбеди на клиентите RF напојувања со поголема моќност, поголема прецизност и брз одговор. Алатката има функции како што се поставување на фази и контрола на пулсот.

Применливи области: фотоволтаична индустрија, индустрија за рамни панели, полупроводничка индустрија, хемиска индустрија, лабораторија, научни истражувања, производство итн.

Применливи процеси: таложење на хемиска пареа засилено со плазма (PECVD), гравирање на подтело од плазма, чистење со плазма, извор на радиофреквентни јони, плазма дифузија, распрскување со плазма полимеризација, реактивно распрскување итн.

Клучни карактеристики

● Усвојување на целосна дигитална контрола и сензори со висока прецизност

● Можност за постигнување на импулсен излез
● Детекција на моќност на импеданса во реално време

● CEX влез за надворешен сигнал, прецизна контрола на секоја фаза

Главните параметри

Внесување

Влезен напон 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Ефикасност на преобликување ≥70%

Излез

Излезна моќност 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Излезна фреквенција 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Излезна импеданса 50Ω+0j
Стабилност на излезна фреквенција ±0,005%
Излезен режим: Континуирано, пулсно

Индекс на перформанси

Моќност 4Wor±1%
Хармониски -40dBc
Лажен -40dBc
Пулсна фреквенција 100Hz~20kHz
Минимална ширина на импулсот 25μs
Контролен интерфејс: аналоген, RS-232, етернет, етеркет итн.

Забелешка: производот продолжува да иновира, а перформансите продолжуваат да се подобруваат. Овој опис на параметарот е само за референца.

Повеќе информации

Преземи

RF напојување од серијата RPJ - лист со податоци
Преземи

Назад кон Центарот за енергетски решенија

RPJ серијаRF напојување