RPJ sorozat
RF tápegység

Az RPJ sorozat kiforrott RF generációs technológiára támaszkodik, hogy nagyobb teljesítményű, nagyobb pontosságú és gyorsabb válaszidőt biztosító RF tápegységeket biztosítson az ügyfeleknek. Olyan funkciókkal rendelkezik, mint a fázisbeállítás és az impulzusvezérlés.

Alkalmazható területek: fotovoltaikus ipar, síkképernyős kijelzőipar, félvezetőipar, vegyipar, laboratórium, tudományos kutatás, gyártás stb.

Alkalmazható eljárások: plazmával fokozott kémiai gőzfázisú leválasztás (PECVD), plazma altestmaratás, plazmatisztítás, rádiófrekvenciás ionforrás, plazmadiffúzió, plazmapolimerizációs porlasztás, reaktív porlasztás stb.

Főbb jellemzők

● Teljesen digitális vezérlés és nagy pontosságú érzékelők alkalmazása

● Impulzus kimenet elérésére képes
● Valós idejű impedancia teljesítményérzékelés

● CEX külső jelbemenet, minden fázis precíz vezérlése

A fő paraméterek

Bemenet

Bemeneti feszültség 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Konverziós hatékonyság ≥70%

Kimenet

Kimeneti teljesítmény: 3 kW, 6 kW, 12 kW, 20 kW, 24 kW
Kimeneti frekvencia 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz, 60 MHz
Kimeneti impedancia 50Ω+0j
Kimeneti frekvencia stabilitás ±0,005%
Kimeneti mód Folyamatos, impulzus

Teljesítményindex

Teljesítményfelvétel 4Wor±1%
Harmonikus -40dBc
Hamis -40dBc
Impulzusfrekvencia 100Hz~20kHz
Minimális impulzusszélesség 25 μs
Vezérlőfelület Analóg, RS-232, Ethernet, EtherCAT stb.

Megjegyzés: a termék folyamatosan fejlődik és a teljesítménye is folyamatosan javul. Ez a paraméterleírás csak tájékoztató jellegű.

További információk

Letöltés

RPJ sorozatú RF tápegység – adatlap
Letöltés

Vissza az Energiaellátási Megoldások Központjába

RPJ sorozatRF tápegység