Серия RPJ
Источник питания радиочастотного сигнала

Серия RPJ основана на отработанных технологиях генерации радиочастотного питания и предоставляет клиентам источники питания с большей мощностью, более высокой точностью и быстрым откликом. Инструмент обладает такими функциями, как установка фазы и управление импульсами.

Области применения: фотоэлектрическая промышленность, производство плоских панелей, полупроводниковая промышленность, химическая промышленность, лабораторные исследования, научные исследования, производство и т. д.

Применимые процессы: плазменно-усиленное химическое осаждение из газовой фазы (PECVD), плазменное травление субтел, плазменная очистка, радиочастотный ионный источник, плазменная диффузия, плазменное полимеризационное распыление, реактивное распыление и т. д.