RPJ сериясе
РФ электр белән тәэмин итү

RPJ сериясе өлгергән RF генерацияләү технологиясенә таяна, бу кулланучыларга зуррак куәт, югарырак төгәллек һәм тиз җавап бирү белән RF электр белән тәэмин итүне тәэмин итә. Аның фаза көйләүләре һәм импульсларны контрольдә тоту кебек функцияләре бар.

Кулланыла торган өлкәләр: фотоэлектрик сәнәгать, яссы панельле дисплей сәнәгате, ярымүткәргечләр сәнәгате, химия сәнәгате, сәнәгать, лаборатория, фәнни тикшеренүләр, җитештерү һ.б.

Кулланыла торган процесслар: плазма белән көчәйтелгән химик пар белән эшкәртү (PECVD), плазма асты матдәсен эшкәртү, плазма чистарту, радиоешлыклы ион чыганагы, плазма диффузиясе, плазма полимеризациясе белән сиптерү, реактив сиптерү һ.б.

Төп үзенчәлекләр

● Тулы санлы идарә итү һәм югары төгәллекле сенсорларны куллану

● Импульс чыгаруга ирешә алу
● Реаль вакытта импеданс көчен ачыклау

● CEX тышкы сигнал кертү, һәр фазаны төгәл контрольдә тоту

Төп параметрлар

Керү

Керү көчәнеше 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Конверсия нәтиҗәлелеге ≥70%

Чыгару

Чыгару куәте 3 кВт, 6 кВт, 12 кВт, 20 кВт, 24 кВт
Чыгару ешлыгы 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz, 60MHz
Чыгу импедансы 50Ω+0j
Чыгару ешлыгы тотрыклылыгы ±0,005%
Чыгару режимы өзлексез, импульслы

Нәтиҗәлелек индексы

Энергия туплау 4Wor±1%
Гармоник -40dBc
Ялган -40dBc
Пульс ешлыгы 100Гц~20кГц
Минималь импульс киңлеге 25 мкс
Аналогик идарә итү интерфейсы, RS-232, Ethernet, EtherCAT һ.б.

Искәрмә: продукт яңартуын дәвам итә һәм эшчәнлек яхшыра бара. Бу параметр тасвирламасы белешмә өчен генә.

Күбрәк мәгълүмат

Йөкләү

RPJ серияле RF электр белән тәэмин итү мәгълүматлары таблицасы
Йөкләү

Power Solutions үзәгенә кире кайту

RPJ сериясеРФ электр белән тәэмин итү