Dòng sản phẩm RPJ
Nguồn điện RF

Dòng sản phẩm RPJ dựa trên công nghệ tạo xung RF tiên tiến để cung cấp cho khách hàng các bộ nguồn RF có công suất lớn hơn, độ chính xác cao hơn và tốc độ phản hồi nhanh hơn. Sản phẩm này có các chức năng như cài đặt pha và điều khiển xung.

Các lĩnh vực ứng dụng: công nghiệp quang điện, công nghiệp màn hình phẳng, công nghiệp bán dẫn, công nghiệp hóa chất, phòng thí nghiệm, nghiên cứu khoa học, sản xuất, v.v.

Các quy trình áp dụng: lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma (PECVD), khắc plasma dưới bề mặt, làm sạch plasma, nguồn ion tần số vô tuyến, khuếch tán plasma, lắng đọng phún xạ polymer hóa plasma, lắng đọng phún xạ phản ứng, v.v.

Các tính năng chính

● Sử dụng hệ thống điều khiển kỹ thuật số hoàn toàn và cảm biến độ chính xác cao.

● Có khả năng tạo ra xung đầu ra
● Phát hiện công suất trở kháng theo thời gian thực

● Đầu vào tín hiệu ngoài CEX, điều khiển chính xác từng pha

Các thông số chính

Đầu vào

Điện áp đầu vào 3 pha AC 208V, 3 pha AC 380V; 50/60Hz
Hiệu suất chuyển đổi ≥70%

Đầu ra

Công suất đầu ra: 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Tần số đầu ra: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz, 60MHz
Trở kháng đầu ra 50Ω+0j
Độ ổn định tần số đầu ra ±0,005%
Chế độ đầu ra: Liên tục, xung

Chỉ số hiệu suất

Độ chính xác công suất 4W hoặc ±1%
Sóng hài -40dBc
Nhiễu -40dBc
Tần số xung 100Hz~20kHz
Độ rộng xung tối thiểu 25μs
Giao diện điều khiển: Analog, RS-232, Ethernet, EtherCAT, v.v.

Lưu ý: Sản phẩm liên tục được cải tiến và hiệu năng không ngừng được nâng cao. Mô tả thông số này chỉ mang tính chất tham khảo.

Thông tin thêm

Tải xuống

Bảng thông số kỹ thuật bộ nguồn RF dòng RPJ
Tải xuống

Trở lại Trung tâm Giải pháp Nguồn điện

Dòng sản phẩm RPJNguồn điện RF