RPJ Serisi
RF Güç Kaynağı

RPJ Serisi, müşterilerine daha yüksek güç, daha yüksek hassasiyet ve hızlı tepki süresi sunan RF güç kaynakları sağlamak için olgun RF üretim teknolojisine dayanmaktadır. Ayrıca faz ayarı ve darbe kontrolü gibi işlevlere de sahiptir.

Uygulama alanları: fotovoltaik endüstrisi, düz panel ekran endüstrisi, yarı iletken endüstrisi, kimya endüstrisi, laboratuvar, bilimsel araştırma, üretim vb.

Uygulanabilir işlemler: plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD), plazma alt gövde aşındırma, plazma temizleme, radyo frekanslı iyon kaynağı, plazma difüzyonu, plazma polimerizasyon püskürtme, reaktif püskürtme, vb.

Başlıca özellikler

● Tamamen dijital kontrol ve yüksek hassasiyetli sensörlerin kullanımı

● Darbe çıkışı elde edebilme özelliği
● Gerçek zamanlı empedans güç tespiti

● CEX harici sinyal girişi, her fazın hassas kontrolü

Ana parametreler

Giriş

Giriş voltajı 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
Dönüşüm verimliliği ≥%70

Çıktı

Çıkış gücü 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
Çıkış frekansı 13,56MHz, 27,12MHz, 40,68MHz, 60MHz
Çıkış empedansı 50Ω+0j
Çıkış frekansı kararlılığı ±0,005%
Çıkış modu Sürekli, darbeli

Performans endeksi

Güç doğruluğu 4Wor±1%
Harmonik -40dBc
Sahte -40dBc
Darbe frekansı 100Hz~20kHz
Minimum darbe genişliği 25 μs
Kontrol arayüzü: Analog, RS-232, Ethernet, EtherCAT vb.

Not: Ürün sürekli olarak yenilenmekte ve performansı sürekli olarak iyileştirilmektedir. Bu parametre açıklaması yalnızca referans amaçlıdır.

Daha fazla bilgi

İndirmek

RPJ Serisi RF Güç Kaynağı - Teknik Özellikler Sayfası
İndirmek

Güç Çözümleri Merkezine Geri Dön

RPJ SerisiRF Güç Kaynağı