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आरपीजे श्रृंखला
आरएफ पावर सप्लाई

आरपीजे सीरीज उन्नत आरएफ उत्पादन तकनीक पर आधारित है, जो ग्राहकों को अधिक शक्ति, उच्च परिशुद्धता और तीव्र प्रतिक्रिया वाले आरएफ पावर सप्लाई प्रदान करती है। इसमें फेज सेटिंग और पल्स कंट्रोल जैसे कार्य शामिल हैं।

लागू क्षेत्र: फोटोवोल्टिक उद्योग, फ्लैट पैनल डिस्प्ले उद्योग, सेमीकंडक्टर उद्योग, रसायन उद्योग, प्रयोगशाला, वैज्ञानिक अनुसंधान, विनिर्माण आदि।

लागू होने वाली प्रक्रियाएं: प्लाज्मा संवर्धित रासायनिक वाष्प निक्षेपण (PECVD), प्लाज्मा सब-बॉडी एचिंग, प्लाज्मा सफाई, रेडियो फ्रीक्वेंसी आयन स्रोत, प्लाज्मा प्रसार, प्लाज्मा पॉलीमराइजेशन स्पटरिंग, रिएक्टिव स्पटरिंग, आदि।

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प्रमुख विशेषताऐं

  • ● पूर्णतः डिजिटल नियंत्रण और उच्च परिशुद्धता वाले सेंसरों का उपयोग
  • ● पल्स आउटपुट प्राप्त करने में सक्षम
  • ● वास्तविक समय में प्रतिबाधा शक्ति का पता लगाना
  • ● CEX बाह्य सिग्नल इनपुट, प्रत्येक चरण का सटीक नियंत्रण

मुख्य मापदंड

इनपुट

  • इनपुट वोल्टेज 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
  • रूपांतरण दक्षता ≥70%

उत्पादन

  • आउटपुट पावर 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
  • आउटपुट आवृत्ति 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz, 60MHz
  • आउटपुट प्रतिबाधा 50Ω+0j
  • आउटपुट आवृत्ति स्थिरता ±0.005%
  • आउटपुट मोड: निरंतर, पल्स

प्रदर्शन सूचकांक

  • पावर एक्यूरेसी 4Wor±1%
  • हार्मोनिक -40dBc
  • नकली -40dBc
  • पल्स आवृत्ति 100Hz~20kHz
  • न्यूनतम पल्स चौड़ाई 25μs
  • नियंत्रण इंटरफ़ेस: एनालॉग, RS-232, ईथरनेट, ईथरकैट आदि।

नोट: उत्पाद में निरंतर नवाचार हो रहे हैं और इसका प्रदर्शन लगातार बेहतर हो रहा है। यह पैरामीटर विवरण केवल संदर्भ के लिए है।

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