Inquiry
Form loading...

ซีรีส์ RPJ
แหล่งจ่ายไฟ RF

ซีรีส์ RPJ อาศัยเทคโนโลยีการสร้างสัญญาณ RF ที่พัฒนามาอย่างดี เพื่อมอบแหล่งจ่ายไฟ RF ที่มีกำลังมากขึ้น ความแม่นยำสูงขึ้น และการตอบสนองที่รวดเร็วแก่ลูกค้า นอกจากนี้ยังมีฟังก์ชันต่างๆ เช่น การตั้งค่าเฟสและการควบคุมพัลส์

สาขาที่เกี่ยวข้อง: อุตสาหกรรมเซลล์แสงอาทิตย์, อุตสาหกรรมจอแสดงผลแบบแบน, อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์, อุตสาหกรรมเคมี, ห้องปฏิบัติการ, งานวิจัยทางวิทยาศาสตร์, การผลิต ฯลฯ

กระบวนการที่เกี่ยวข้อง: การตกตะกอนไอสารเคมีด้วยพลาสมา (PECVD), การกัดผิวชิ้นงานด้วยพลาสมา, การทำความสะอาดด้วยพลาสมา, แหล่งกำเนิดไอออนความถี่วิทยุ, การแพร่กระจายของพลาสมา, การสปัตเตอร์แบบพอลิเมอไรเซชันด้วยพลาสมา, การสปัตเตอร์แบบปฏิกิริยา ฯลฯ

01

คุณสมบัติหลัก

  • ● ใช้ระบบควบคุมดิจิทัลเต็มรูปแบบและเซ็นเซอร์ความแม่นยำสูง
  • ● สามารถสร้างสัญญาณพัลส์ได้
  • ● การตรวจจับกำลังอิมพีแดนซ์แบบเรียลไทม์
  • ● อินพุตสัญญาณภายนอก CEX ควบคุมแต่ละเฟสได้อย่างแม่นยำ

พารามิเตอร์หลัก

ป้อนข้อมูล

  • แรงดันไฟฟ้าขาเข้า 3φAC208V, 3φAC380V; 50/60Hz
  • ประสิทธิภาพการแปลง ≥70%

เอาต์พุต

  • กำลังไฟฟ้าขาออก 3kW, 6kW, 12kW, 20kW, 24kW
  • ความถี่เอาต์พุต 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz, 60MHz
  • อิมพีแดนซ์เอาต์พุต 50Ω+0j
  • ความเสถียรของความถี่เอาต์พุต ±0.005%
  • โหมดเอาต์พุต: ต่อเนื่อง, พัลส์

ดัชนีประสิทธิภาพ

  • ความแม่นยำของกำลังไฟ 4Wor±1%
  • ฮาร์มอนิก -40dBc
  • สัญญาณรบกวน -40dBc
  • ความถี่พัลส์ 100Hz~20kHz
  • ความกว้างพัลส์ขั้นต่ำ 25 ไมโครวินาที
  • อินเทอร์เฟซควบคุม: อนาล็อก, RS-232, อีเธอร์เน็ต, อีเธอร์แคท เป็นต้น

หมายเหตุ: ผลิตภัณฑ์มีการพัฒนาอย่างต่อเนื่องและประสิทธิภาพก็ดีขึ้นเรื่อยๆ คำอธิบายพารามิเตอร์นี้ใช้สำหรับการอ้างอิงเท่านั้น

ข้อมูลเพิ่มเติม

ดาวน์โหลด

  • เอกสารข้อมูลผลิตภัณฑ์แหล่งจ่ายไฟ RF ซีรีส์ RPJ

    65975ba95qดาวน์โหลด
กลับไปที่ศูนย์โซลูชันด้านพลังงาน