ຊຸດ RPJ
ແຫຼ່ງພະລັງງານ RF

ຊຸດ RPJ ອີງໃສ່ເທັກໂນໂລຢີການຜະລິດ RF ທີ່ພັດທະນາແລ້ວເພື່ອໃຫ້ລູກຄ້າມີແຫຼ່ງພະລັງງານ RF ທີ່ມີພະລັງງານສູງກວ່າ, ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງກວ່າ, ແລະ ການຕອບສະໜອງໄວ. ເຄື່ອງມືນີ້ມີໜ້າທີ່ເຊັ່ນ: ການຕັ້ງເຟສ ແລະ ການຄວບຄຸມກຳມະຈອນ.

ຂົງເຂດທີ່ໃຊ້ໄດ້: ອຸດສາຫະກຳໄຟຟ້າແສງຕາເວັນ, ອຸດສາຫະກຳຈໍສະແດງຜົນແບບຮາບພຽງ, ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ, ອຸດສາຫະກຳເຄມີ, ຫ້ອງທົດລອງ, ການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດ, ການຜະລິດ, ແລະອື່ນໆ.

ຂະບວນການທີ່ໃຊ້ໄດ້: ການສະສົມໄອນ້ຳເຄມີທີ່ເສີມດ້ວຍພລາສມາ (PECVD), ການແກະສະຫຼັກເນື້ອເຍື່ອພລາສມາ, ການເຮັດຄວາມສະອາດພລາສມາ, ແຫຼ່ງໄອອອນຄວາມຖີ່ວິທະຍຸ, ການແຜ່ກະຈາຍພລາສມາ, ການສະເປເຕີຣິເຊຊັນພລາສມາ, ການສະເປເຕີຣິວເຕີ, ແລະອື່ນໆ.